文档介绍：学号：S15010091
硕士学位论文
量子级联激光器阵列热分析
研究生姓名： 王佳彬
学科、专业： 电子科学与技术
二○一 八 年 三 月
分类号： 密 级： 公开
U D C： 编 号：
量子级联激光器阵列热分析
Quantum Cascade Laser Array Thermal Analysis
学位授予单位及代码：长春理工大学 （10186）
学科专业名称及代码：电子科学与技术 （080900）
研 究 方 向：半导体激光器物理与技术 申请学位级别：理学硕士
指 导 教 师：晏长岭 研究员 研 究 生：王佳彬
论文起止时间：—
摘 要
量子级联激光器集量子工程和分子束外延（MBE）技术于一身，是国家纳
米及量子器件核心技术的真正体现，量子级联激光器的技术突破将推动我国的激
光应用市场。量子级联激光器开创了中远红外半导体激光的新领域，在空气污染
检测，远程监测，工业烟雾分析，化学过程分析，分子光谱研究和医学检验，以
及太赫兹成像和通信技术等方面具有重要的应用价值。
量子级联激光器（QCL）在运行时会产生大量热量。 如果热量没有及时消
散，器件的性能会受到很大影响，甚至会烧坏器件，对于阵列结构，单元器件
互相之间会产生热叠加，使得阵列的热效应比单管的热效应更加严重，因此我
们使用有限元分析软件 ANSYS，对量子级联激光器阵列中单元器件不同中心间
距产生的热量做出比较并进行分析，同时研究制备量子级联激光器阵列的各种
工艺，并对器件的性能做出测试。
关键字：量子级联激光器 ANSYS 分析 工艺 激光器封装
I
ABSTRACT
Quantum cascade lasers combine quantum engineering and molecular beam
epitaxy (MBE) techniques into one. It is the true embodiment of the national
nanometer and quantum device core technology. The technological breakthrough of
the quantum cascade laser will promote China's civil market. Quantum cascade lasers
have important application value in communication technology, remote monitoring,
air pollution detection, industrial smoke analysis, chemical process analysi