文档介绍：扫描电子显微系统
01
定义与相
关概念
02
扫描电镜
结构与原理
03
扫描电镜的
应用与发展
04
参考文献
01 定义与相关概念
电子显微镜 Electron microscopy (EM)
电子显微镜，简称电镜，是一种利用电子束对样品放大成像的一种显微镜，包括扫描电镜（SEM）和投射电镜（TEM）
扫描电子显微镜 Scanning Electron microscopy （SEM）
利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态的电子显微镜，即用极狭窄的电子束去扫描样品，通过电子束与样品的相互作用产生各种效应，其中主要是样品的二次电子发射。
3
01 定义与相关概念
光学系统的最小分辨角——瑞利判据
其中λ为波长，D为光瞳直径。如果简单的提高放大倍率，而不分辨细节，这样的显微镜没有意义。D不能做的很大，所以要提高分辨率，就要设法寻找波长更短的波。
德布罗意——波粒二象性，电子也可以看成是一种波
4
01 定义与相关概念
试样
入射光线
透射光线
反射光线
反射光线
吸收光线
可见光与物体作用
电子束与物体作用
5
怎样利用电子与物质的相互作用来进行成像？
02 扫描电镜结构与原理
扫描电镜工作原理图
电子光学系统
样品室
电子学系统
电子枪
电磁透镜
扫描线圈
真空系统
显示系统
电源系统
信号电子成像系统
简化扫描电镜工作原理图
02 扫描电镜结构与原理
电子枪的热阴极发射的电子受到阳极电压
加速并形成笔尖状电子束，其中最小直径
10-50um，经过2-3个电磁透镜的汇聚作用，
在样品表面汇聚成直径可以小到1-10nm的
细束流。
电子枪发射电子动态示意图
02 扫描电镜结构与原理
在末透镜上部的扫描线圈的作用下，电子束对试样表面进行扫描。扫描电镜中采用的是逐点成像的图像分解法，电子束在样品上作光栅扫描的同时，显像管中的电子束作同步扫描，扫描区域越小，荧光屏上图像放大倍率越大
电子束汇聚系统剖面图
02 扫描电镜结构与原理
二次电子探测图
二次电子探头
扫描电镜可以接收从样品上发出来的多种信号电子来成像，不同的信号灯电子
要用不同的探测器，在高真空工作状态下，以二次电子信号的图像质量最好