微压力标准装置研制.pdf

文档介绍：计量、 测试与校准 年第 卷第 期
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doi 10. 11823∕j. issn. 1674 - 5795. 2020. 02. 27
微压力标准装置研制
李鑫武
(航空工业北京长城计量测试技术研究所, 北京 )
100095
摘 要: 详细介绍了一种液体压力计微压标准装置的研制, 采用超声波液位定位技术实现液位准确定位, 并
　
采用激光干涉技术实现了液柱高度准确测量, 同时对温度控制、 位移控制、 数据采集处理等分系统设计进行介
绍, 最后对微压标准装置进行了测量不确定度分析和验证, 该标准装置填补国防系统 以下微压量值传递空
5 kPa
白, 解决国防系统高准确度微压仪器仪表的溯源问题。
关键词: 微压力; 校准; 压力标准装置; 液体压力计
中图分类号: 文献标识码: 文章编号:
TB935　 　 　 　 A　 　 　 　 1674 - 5795(2020)02 - 0178 - 05
Design Development of Micro Pressure Standard Device