文档介绍：磁控溅射技术和透明导电薄膜
什么叫镀膜
薄膜：
在固体表面上镀上一层于基体材料不同的薄层材料。
厚度通常在几微米以下。
溅射原理
成膜示意图
磁控溅射原理
电子在加速飞向基片的过程中受到磁场洛仑磁力的影响，被束缚在靠近靶面的等离子体区域内，并在磁场的作用下围绕靶面作圆周运动，该电子的运动路径很长，在运动过程中不断的与氩原子发生碰撞电离出大量的氩离子轰击靶材，经过多次碰撞后电子的能量逐渐降低，摆脱磁力线的束缚，远离靶材，最终沉积在基片上。
等离子详解
定义:等離子體是一种电离气体，是离子、电子和高能原子的集合体，整体显中性，它是一种由带电粒子组成的电离状态.
等离子体的现象，所发生的辉光放电原理，产生离子溅射基理（低压气体中显示辉光的气体放电现象，即是稀薄气体中的自激导电现象）
洛仑磁力：运动电荷在磁场中受到的作用力
磁控溅射靶材结构图
磁控溅射设备
射频（RF）磁控溅射：SIO2
直流（DC）磁控溅射:ITO、MO、AL
中频（MF）磁控溅射：SI、MO、AL、NB2O5
磁控溅射电源及靶材
薄膜的种类及应用
电子工业：电极、电阻膜、电介质膜、绝缘膜、透明导电膜、超导膜等。
光学工业：荧光膜、反射膜、增透膜、干涉膜等。
***：硬化膜、耐热膜、耐腐蚀膜等。
能源工业：聚热膜、防反射膜、透射膜等。
传感器：热敏、气敏、压敏、氧气传感器、红外线传感器等。
其它：装饰膜等。