文档介绍：word
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多级爪型干式真空泵原理分析
唐琳徐曦朱红梅
〔朗禾科技， 100054〕
摘要：
多级爪型干式真空泵的结构对于其材料消耗、体积、能耗等性能有着非常重要的作用。本文就其原理和国际上最经典的两种结构：螺旋型〔德国〕、反爪型〔英国〕做了介绍和比照，并提出了最新的结构：螺旋反爪结构。
关键词：爪型干式真空泵 “螺旋爪型〞干式真空泵 “反爪型干式真空泵〞
“螺旋反爪型干式真空泵〞
Princple of claw dry pump
Abstract：
Key words:claw dry pump; newest princple
多级爪型干式真空泵是上世纪末其快速开展成熟的新型真空泵，由于其如下突出优点：泵腔内无油、对被抽容器没有油污染、并能直排大气、单泵就能达到3帕等，在电子行业得到了非常广泛的应用，替代了油封机械泵以与滑阀真空泵。由于其性能卓越而越来越广泛的应用于航天、核工业、化工、制药、环保等行业、并逐年成上升的趋势。
其主要的结构型式有：1〕螺旋型 2〕反爪型；其结构各有优势，相比拟而言反爪型比螺旋型优势更明显。但由于其结构限制，泵的抽速目前根本上均做到小于600M
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3/h，不能够满足化工和制药等大抽速的需要。
本文介绍了朗禾科技的最新型结构，结合了以上两种结构的优势，相比拟而言有如下优势：更少材料、更低能耗、更好维护、更大抽速。
它更能适合化工、制药、环保等领域的需要。它对爪型干式真空泵的开展和应用起到了巨大的推动作用。
一、单级爪泵的工作原理：
如上图所示排气口 1 转子对 2 泵体3 进气口4
在图一位置 A腔和进气口4接通,随着转子对2的同步反方向运动A腔容积变大,气体就吸入泵内,B腔内的气体也在转子对的作用下得到了逐渐压缩,我们称为吸气过程;
图二位置A腔容积继续变大,继续吸气,同时,B腔的容积在转子对2的同步反方向运动下逐渐变小,运动到和排气口1接通的位置气体通过排气口排到下一级,这个过程一直回持续到图三位置,吸气和排气同时进展,简称为吸排气过程;
在图三位置 A腔达到了最大容积,吸气完毕和B腔的容积达到了最小,,起到了自动关闭的作用;
在图四位置随着转子的运转,B腔内没有被排出去的气体和A腔内被吸入的气体混合到了一起,既不吸气也不排气,我们称为过渡过程;
不连续重复以上3个过程，达到了连续不连续抽真空的目的，由于泵腔内无需用水或油等介质，有如下的优势：能抽各种化学气体、特殊不锈钢材料制做的爪泵还能抽腐蚀性气体。在航天、制药、化工、核工业等行业得到了广泛的应用。
二、常见的多级爪泵原理：
1、螺旋型的结构和性能：
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a螺旋型结构的三维示意图：
图一
b螺旋型结构原理图：
图二
在第一级的排气口1位置，设计一个长长的通道5，，为了保证在第一级排气时，第二级泵体3B开始吸气，所以，第二级的同步转子比照第一级落后一定角度的相位差为a2-a1，通过研究发现a2-a1=30度-120度之间都是合理，最合理的角度还需要进一步研究。第三点，通道5要不能设计得太小。依此方法来设计第三级转子对以与第四级转子对和通道，就会发现各级转子依次沿着转子对旋转的方向落后于上一级，串联在主轴上就呈现了螺旋型布局，称为螺旋型。
其结构有如下优点而被广泛采用:
转子的放置都如上图放置，从上世纪80年代末期欧洲几家企业生产过这样的泵以后，产品在市场方面得到了非常好的反响和使用效果，目前在中国均得到了最广泛的采用。
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图三
四级泵结构如下列图，顶盖1 第一级泵腔2 一级转子对3 第一级隔板4 第二级转子对5第二级泵腔6 第二级隔板7 第三级转子对8 第三级泵腔9 第三级隔板10 第四级泵腔11 第四级转子对12 底座13
如下列图其工作过程是这样的，气体从顶盖1进入沿箭头方向进入到第一级泵体2内，通过第一级转子对3的作用，压缩气体沿箭头方向继续进入第一级隔板4内。分别通过第二级泵腔6，第三级泵腔9第四级泵腔11，气体通过了比拟慢长而又复杂的运动。
通过，我们经过大量的实验以与用户的使用，从加工本钱和制造方面有如下的缺点：1〕第一级隔板4第二级隔板7以与第三级隔板10