文档介绍：. . 第 19章半导体工厂施工组织设计 工程概况 工程简介本项目工程名称为×× 半导体有限公司第 代 TFT 生产线新建工程。其中主厂房为三层结构,中间区域为生产用洁净厂房,两侧为辅助区域,结构形式为框架结构。其他厂房还包括造排水栋、动力栋和其他辅助建筑。本项目工期要求为×× 年×月× 日具备工艺设备搬入条件。工作量大,工期紧张且工作强度相对较大, 项目材料和设备要求较高, 对项目承包商的能力和施工策划提出较高的要求。 xx 半导体有限公司是香港 xx 国际控股有限公司的全资子公司, 成立于 19 xx年, 在中国广东省注册, 注册资金为 xxxx 万美元。公司总部设在香港, 生产基地位于中国广东省 xx市。在国内有 70% 的产品销售权。是一家知名的电子产品、半导体产品开发、生产和销售的香港上市公司。 TFT 面板项目由 xx 半导体有限公司投资, 投资总额约 x 亿美金。建厂费用占总投资额的 %, 约人民币 亿元。本项目产品为第 代 TFT-LCD 面板,由阵列和成盒两道工序组成, 基板玻璃尺寸为 550 毫米× 650 毫米, 月投片量为 xxK, 主要产品为手机使用的彩色 TFT 显示屏。本项目位于广东省 xx市 xx 工业园区内,北临 xx 路,南靠工业大道,用地面积为 14万多m 2。本项目主要由生产主厂房、动力站、纯水站、大宗气体站、废水站、特殊药品仓库等组成。其中主厂房洁净面积共一万两千平方米,洁净级别主要为十级、百级和千级。 产品的工作原理及工艺流程: (1 )产品工作原理液晶显示屏是透过硅玻璃上的电路形成电场,来驱动玻璃与滤光片间的液晶分子,在自然状态下呈并列平行排列,当电路对液晶层施加电场,液晶分子会朝不同的方向偏转,这时液晶类似于开关作用可以让光线通过,令液晶层形成不同的透光效果,从而达到显示不同画面的目的。(2 )工艺流程: 阵列工艺流程:玻璃基板投入→基板清洗→栅极金属溅射→栅极光刻→ n+α-硅/α-硅/ . . 氮化硅层淀积→α- 硅光刻→ ITO 膜溅射→ ITO 膜光刻→源/ 漏级金属溅射→源/ 漏级金属光刻→ n+α- 硅反刻→氮化硅淀积→绝缘层刻蚀→退火→检查成盒工艺流程:投入阵列和滤光玻璃基板→配向膜印刷→框胶图敷、垫料→滴入液晶→真空贴合→盒分割→贴偏光片→检查 工程特点及主要工程量: (1) 工程特点: 该工程机电系统复杂, 净化厂房面积为 1 万二千平方米, 净化级别分别为十级、百级和千级,动力系统包括大宗气体、特种气体、工艺冷却水、工艺真空、化学品等项目,生产厂房主体为框架结构,屋顶采用大跨度钢屋架结构。主体结构二层,一层为设备工艺系统、一般排风和酸碱排风等,专业复杂,施工难度大。下夹层,主要由生产车间工艺下夹层和辅助用房组成,二层为工作层,主要由生产车间、办公室等管理用房组成。工程对抗微震的要求很高。(2) 该工程的主要工程量: 本项目的主要建筑由生产主厂房、动力站房、纯水站房、废水处理厂房、开关站及气体库房等组成。工程占地面积约 14 万多平方米, 总建筑面积约为 5 万多平方米。(3 )本工程土建部分包括:结构、建筑和钢结构部分组成。(4) 机电部分包括: 洁净室内装、洁净室空调系统、工艺排风系统、冷冻水系统、热水锅炉系统、工艺冷却水系统、纯水系统、废水系统、压缩空气系统、氮气系统、氧气系统、特气系统、消防喷淋和消火栓系统、低压变配电站、工艺设备配电、照明、弱电自控、火灾报警系统等。(5 )洁净室内装工程包括: ?厂房火灾危险性为丙类,防火等级为 2 级,抗振烈度为 7 级。?生产厂房内隔墙: (彩色金属夹心板) 17000 平米; ?生产厂房吊顶: (彩色金属夹心板) 12000 平米; ?环氧地面: 14000 平米; ?架空活动防静电地板: 12000 平米; ?架空地板用工字钢( 规格*** × **×*× **t): 42000 米; ?各种风淋室: 15 个; (6) 电气工程包括: . . ?各种电压等级变压器: 9 台( 25000KVA ,其中 UPS : 5000KVA ); ?各种配电柜: 156 台; ?各类灯具: 7300 套; ?各种电气桥架: 15000 米; ?各种电线、电缆:共 543000 米; (7 )机械工程包括: ?厂房内的新风设计总风量为 150000CHM , 由四台(三用一备)新风机组集中供给; ?自循环风机( DCFU ): 108 台; ?高效过滤风机单元( FFU ): 3020 台; ?一般排气系统设计排风量 60000CHM , 由四台(三用一备) 离心式排风机; ?燃油蒸汽锅炉:3 台; ?水源热泵: 2 台; ?离心式冷冻机: