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态、气态之后的物质第四态，当外加电压到达气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反响以到达降解污染物的目的。DBD等离子体反响区富含极高的物质，如高能电子、离子、自由基和激发态分子等，废气中的污染物质可与这些具有较高能量的物质发生反响，使污染物质在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反响以到达讲解污染物的目的。与传统的电晕放电形势产生的低温等离子技术相比拟，DBD等离子体技术放电量是电晕放电的50倍，放电密度是电晕放电的130倍。所以,传统低温等离子体技术只能用于室内空气异味治理,与其他低温等离子体技术相比拟，DBD等离子体技术是唯一用于工业化工艺废气治理的技术。
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图1 DBD等离子体双介质阻挡放电示意图
等离子体去除污染物的根本过程
过程一：高能电子的直接轰击
过程二：O原子或臭氧的氧化
O2+e→2O
过程三：OH自由基的氧化
H2O+e→OH+H
H2O+O→2OH
H+O2→OH+O
过程四：分子碎片+氧气的反响
低温等离子技术特点
1、技术高端，工艺简洁：开机后，即自行运转，受工况限制非常少，无需专人操作，除臭率最高可达99%。
2、节能：无机械设备，空气阻力小，。 3、适应工况范围宽：设备启动、停顿十分迅速，随用随开，不受气温的影响。在250℃以下和在雾态工况环境中均可正常运转。-50℃至 +50℃的环境温度仍可正常运转。 4、设备使用寿命长：本设备由不锈钢材，铜材、钼材、环氧树脂等材料组成，抗氧化，采用防腐蚀材料，电极与废气不直接接触，根本上解决了设备腐蚀问题。
5、构造简单：只需用电，操作极为简单，无需派专职人员看守，根本不占用人工费。
6、无机械设备：故障率低，维修容易。
7、应用范围广：介质阻挡放电产生的低温等离子体中，电子能量高，几乎可以将所有的异味气体分子降解。
低温等离子体技术工艺路线示意图
异味气体从气体收集系统收集后进入等离子体反响区，在高能电子的作用下，使异味分子受激发，带电粒子或分子间的化学键被打断，同时空气中的水和氧气在高能电子轰击下也会产生OH自由基、活性氧等强氧化性物质，这些强氧化性物质也会与异味分子反响，使其分解，从而促进异味消除。净化后的气体经排气筒高空排放。
图为废气处理工艺路线示意图
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在化工、制药厂正常运作的低温等离子废气处理设备：

有机废气处理方法概述
炭氢化合物〔HC〕是污染大气的重要污染物之一，其中包括简单的有机化合物。目前对于气态有机物污染物种类繁多，采用的治理的方法也有多种，常用的有：吸收法、吸附法、催化燃烧法、燃烧法、冷凝法等。这些方法应用中各有特点和利弊，需要根据污染程度、使用环境与条件来权衡。对于环保检查机构和污染治理方所共同关心的是：初次投资费、运行费用、二次污染、处理效果、维护等方面的问题。简而言之这些方法均能满足一定条件下气态污染物的处理。对于以上各种方法的适用范围以及特点表达入如下：
净化方法
方法要点
适用范围
优缺点
燃烧法
将废气中的有机物作为燃料烧掉或将其在高温下进展分解温度范围为600-1100
中高浓度
分解温度高、不够平安
催化燃烧法
在氧化催