文档介绍：特殊氣體管路暨高潔淨度管路
施 工 規 範
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目 錄
1、無塵室作業安全規範………………………………P 3
2、piping installation 管路架設…………………………P 8
3、彎28）化學物品如有洩漏，必須馬上處理。
（29）易燃物品須放置於有蓋容器內。
（30）任何閥、開關插座、電源插座，不可隨意開、關、拔除(機台管線)。
（31）任何配管配線、材料，非經過監工人員同意，不可擅自任意更改。
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Piping installation管路架設
在無塵室或簡易潔淨室執行高潔淨度配管工作時，必須遵循下列的規定。
1、現場工作規定
※ 攜入
材料必須置於特定的貯藏間，在工地現場或在材料間要提供暫時性的簡易潔淨室，所有材料要存放整齊。在存放材料時，有電子拋光的管件必須和未經電子拋光的管件分開。在尚未使用管件之前都不要將塑膠封套打開直到現埸要使用時方可打開，並且不要將材料直接放在地上。
※ 切管
切管時，使用的自動切割機或手動切管器必須是專門為半導體廠工作所設計的。切管器的刀片與管件成垂直方向，當使用自動切割機時，放刀片的深度要能使管壁尚有薄薄的一層未切斷，藉以防止切割時的碎屑進入管內。
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※ 倒角
原則上，在使用倒角機(TUBE SIZE用)或銼刀(PIPE SIZE用)時，小心地
移開切割面。如果切割面歪斜未成垂直，焊口鬆或管子彎曲等狀況發生時，
這種管路是不合規定，必須重新切割及配置。當倒角時，在管的另一端
必須用高潔淨度的氮氣沖吹()。
※ N2沖吹
將管內的微粒沖吹出來。
※ 工作後的清潔
檢視切割機的潔淨度，保持機具不受油污，如果仍然看得見有油污或切割的 碎屑殘餘，按照下列的方法清潔之。
用GN2沖吹
使用的N2必須經-80℃或更低的露點，。
※ 預製工作(在簡易潔淨室clean booth)
在現場的焊接工作降至最低量是必需的。配管區必須在有潔淨氣的地方，
在工作時維持風扇正常運轉，於早、中、晚用CO2檢視器檢查CO2的濃度。
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◆ 點焊
點焊使用TIG焊接，點焊的點數按照下列規定。
(CAJON的焊機必需保証管子確實牢固，從完成的觀點來看，最好不要使用
手動的TIG焊接，因此點焊被省略)。
3/4” 到15A到80A：3~4點。
◆沖吹氣體(Back seal gas)
使用氬氣，露點-80℃或更低，，微粒()含量
為零。
◆沖吹用管套
連接沖吹氣體管路與架設管路，使用(Back seal jig)
如圖(一)所示
圖(一) (參考用)
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◆ 架設程序(圖二)
將工作管路兩端套上管套，連接沖吹氣體及閥 。
圖(二)
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◆ 裝封(在Clean booth內進行)
完成焊接之後，在管內充滿Ar氣，而且用無塵的塑膠紙在末端包裹兩層。
如果末端的閥已經連接好了，把閥也用塑膠紙裹起來。
2、現場施工
現埸焊接的人員必須有受過高潔淨度配管技術檢定通過。 焊接工作
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Ⅰ 原封至現埸。
Ⅱ 先拆卸一端封套，並連接Back seal gas。
Ⅲ 拆卸要焊接端封套，並沖吹乾淨。
Ⅳ 連接後將一端之Back seal gas拆掉使成出氣端，並開始 焊接。
◆ 管路維持條件
即使焊接結束，也要維持小量的N2或Ar在管內沖吹以防止空氣流入管內。
無論如何也要想辦法把管內的空氣及微粒弄出來，如果無法繼續沖吹。
※ 焊機電源
供給電源的電壓的變動，對於管路焊接的品質影響甚巨。使用自動焊接機的電源必需使用特定的整流器。容許的電壓波動AC 100V±10%，AC 200V±10%，在焊接進行時電壓警報器一直監視著電壓，如果電壓超過可容許的範圍時，警報器就會發出聲音。
3、其他注意事項
下述的工作是在架設高潔淨度的管路時必需要執行的。
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※ 控制氬氣沖吹
◆ 用壓力計或液位計察看尚餘有多少氬氣。
◆ 看流量計的刻度檢查沖吹氣體的容量。
◆ 使用採樣品閥從***瓶或氣體來源收集氬氣，測量氬氣純度確定露點是在
-80℃以下，，微粒含量為0 ()。
◆ 在工作處測量架設管路末端的氬氣純度，確定露點在-70℃以下殘餘氧氣
低於2ppm，測量地點必