微压力标准装置研制.pdf

文档介绍：计量、 测试与校准 年第 卷第 期
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duced. Finally, the measurement uncertainty of the micro pressure standard device is analyzed and verified. The standard device fills the gap of
below 5kPa micro pressure value transmission in national defense system, and solves the traceability problem of high accuracy micro pressure in-
struments in national defense system.
Key words
: micro pressure; calibration; pressure standard device; liquid manometer
针对补偿式微压计固定容器液面定位和可动容器的位
0　 引言 移测量准确度的局限 国内外一些技术机构将激光测
,
长技术用于可动容器的位移测量 提高微压校准的准
微压测量是指几千帕以内的微小表压力的测量 ,
, 确度水平 另外 广泛采用的活塞式压力计标准 其
广泛应用于航空 制药 工业生产等各领域 例如 。 , ,
、 、 。 : 定义公式为 P