飞秒激光加工超光滑光学表面综述模板.doc

文档介绍：飞秒激光加工超光滑光学表面综述模板
飞秒激光加工超光滑光学表面综述模板
飞秒激光加工超光滑光学表面综述模板
飞秒激光加工超圆滑光学表面综述
精美和超精美加工技术、 制造自动化是先进制造技术的两大领域， 精的化学作用显得尤为重要。在超圆滑表面抛光中抛光液的化学作用表现在： 先在被加工表面形成一层易于磨削的软质层， 再利用抛光料或抛光盘的机械磨削的作用加以去除。 这样就能够实现用软质抛光料加工硬质材料， 而且对材料的去除及减少加工变质层是有利的。目前普遍认为超圆滑表面抛光是磨料或抛光盘的机械作用和抛光浆料的化学
飞秒激光加工超光滑光学表面综述模板
飞秒激光加工超光滑光学表面综述模板
飞秒激光加工超光滑光学表面综述模板
作用的结果， 以物理、化学的方式去除材料。 不同的抛光方法就在于机械作用和化学作用的组合上有所不同。 目前对于超圆滑表面加工机理的研究尚不完善， 有待于通过纳米摩擦学的微切削理论做出进一步的解释。
在实际生产应用中， 随着科学技术的快速发展， 对材料表面质量的要求越来越高。对于一些超硬材料和脆性材料以及复合材料， 传统的加工方法无法知足加工的技术要求。 激光抛光是一种新型材料表面办理技术， 作为激光加工技术的重要应用之一，也随着激光技术的发展而出现并快速发展。 由于激光抛光具有其他加工方法无可比较的优势， 自20世纪 90年代以来，很多西方国家的学者都开始对激光抛光进行研究， 近年来，中国一些学者和科研机构也开始投入了对激光抛光技术的探索和研究工作 [1],[2] 。
激光抛光技术的发展
自1964年~1965年相继发了然 CO2激光器、 YAG 激光器后，激光器在工业上
的应用变成了可能。随着激光这种新能源的获得，材料加工的领域被大大拓宽，
其中材料表面的激光办理就是激光应用的重要方面之一。 材料表面的激光办理主
要集中在：材料表面激光相变硬化、 激光合金化与涂覆、 激光表面非晶化和微晶
化、冲击硬化及激光对材料的表面改性等。近年来，随着材料科学，特别是材料
表面科学的发展， 激光器在材料科学中的应用得到进一部的拓宽； 更由于工业应
用中对材料表面的光洁度的要求越来越高， 人们不断探索新的抛光技术， 由于激
光独特的性质，激光抛光技术出现了。刚开始，人们利用 CO2激光器、 YAG 激光
器等连续激光器， 对一些材料进行了表面抛光的研究， 得到了比较好的切合要求
的圆滑面，但容易在表面产生少量的裂纹。 现在研究人员把重点放在短波长准分
子激光器和短脉冲的飞秒脉冲激光器上， 利用它们抛光不易产生裂纹， 抛光的效
果更好。从 90年代中期以来，在美国、俄罗斯、德国和日本等国家，宽泛开展了
金刚石薄膜的激光抛光研究， 已经得到了纳米级的表面粗拙度； 近年来，日本大
阪大学激光研究院的研究人员采用 193nm烧蚀波长和 PMMA( 光学材料 )组配获得
高的表面圆滑度，使其表面误差下降到只有 λ。现在激光抛光已经在金刚石
薄膜、高分子聚合物、陶瓷、半导体、光学元件、金属、绝缘体等得到宽泛的研
究。
飞秒激光的产生
飞秒激光加工超光滑光学表面综述模板
飞