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最新卓越管理方案
4″Swagelok,1/4″VCR,或其他
0V~+
15 输入输出信号
(输入阻抗大于 100K,输出电流不大于 3mA)
+15V50mA
16 电源
-15V200mA
17 外形尺寸 mm 134×134×38
18 重量 kg -33A/MT﹑S49-33BM/MT 型质量流量计技术指标
编号 项目 S49-33A/MT S49-33BM/MT
1 流量规格 (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM
(0~1,2,3,5,10,15,20,30)SLM
2 准确度 ±1% ±2%
3 线性 ±(~)%
4 重复精度 ±%
5 响应时间 1~4sec
6 气压降 <
7 耐压 3MPa﹑10MPa
8 工作环境温度 5℃~45℃
11 材料 不锈钢 316L
12 标准密封材料 Viton﹑EPDM,或其他
13 漏率 ﹤2×10-
14 接头 Ф6mm,1/4″Swagelok,1/4″VCR,或其他
电源 +15V50mA-15V50mA
11 外形尺寸 mm 134×134×38 134×134×38
12 重量 kg 1 1注意：S49 系列质量流量控制器，质量流量计分不同的流量范围，
供用户选择，也可根据用户提出流量定制。
图一热式质量流量计的工作原理图
质量流量计由流量传感器,分流器通道和流量放大电路等部件组
成；在质量流量计的基础上，再加上调节阀门和 PID 控制电路就构成了
质量流量控制器。
流量控制器利用流动流体传递热量改变测量毛细管壁温度分布的
热 传 导 分 布 效 应 而 制 成 ， 即 热 分 布 式 流 量 计
（ThermalProfileFlowmeter）。采用毛细管传热温差量热法原理测量气
体的质量流量，可以不受温度和压力的影响。将传感器测得的流量信号
进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得的差值信号去驱动控制
调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。
分流器在主通道和毛细管间产生层流，控制器输出的流量检测电
压与流过通道的质量流量成正比,满量程()流量检测输出电压为+