文档介绍：概述油扩散泵的工作原理与水蒸汽喷射泵相似，都是靠高速蒸汽射流来携带气体以达到抽气
的目的，故有如水蒸汽喷射泵相似的特点。不同点是扩散泵工作在高真空区域，其工作压强范围为10一2〜10-6pa。广泛用于电子、化工、冶金、机械、石油及原子能等概述油扩散泵的工作原理与水蒸汽喷射泵相似，都是靠高速蒸汽射流来携带气体以达到抽气
的目的，故有如水蒸汽喷射泵相似的特点。不同点是扩散泵工作在高真空区域，其工作压强范围为10一2〜10-6pa。广泛用于电子、化工、冶金、机械、石油及原子能等工业部门中。
油扩散泵的工作原理与结构图3是扩散泵的结构示意图。
当油蒸汽从伞形喷咀（如I级喷咀）以超音速喷出后，其速度逐渐增大，压力及密度逐渐降低，射流上边的被抽气体A因密度差要向蒸汽射流中扩散并被射流携带到水冷的泵壁处B,在B处，工作蒸汽大部分被冷凝成油滴沿泵壁流回到油锅中循环使用，而被抽气体在B处堆积、压缩，最后被下级射流携带走，以达到逐级压缩，最后被前级泵抽走。其抽速特性曲线如图4所示。
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⑴扩散泵的抽速S的计算[1](4)
式中3——蒸汽射流的平均速度R(L)、R(O)——分别表示泵筒与喷咀帽的直径
a——蒸汽射流与泵壁的夹角D——气体在射流中的扩散系数扩散泵每级最大压缩比(P2/Pl)max的计算(5)式中w、D——意义同(4)L蒸汽射流长度蒸汽射流流谱的计算扩散泵各级蒸汽射流的工作压强范围为10-2〜l0-6Pa,在这样宽的领域里，蒸汽流从连续流向滑流、过渡流、分子流过渡。用一种理论解决上述各种流态中的问题是很困难的。通常，在连续流领域里，可用气体动力学理论去处理，在分子流领域里，可用分子流理论去处理。然而，处理两种流态之间的问题也是很困难的。为此，在处理蒸汽流问题之前，必须弄清楚所要处理的蒸汽流是属于那种流态。
[2]o(6)式中C——油蒸汽分子的平均热运动速度(cm/s)l——蒸汽流中混合物分子的平均自由程，因射流中蒸汽分子密度nd»ng(混合物中空气分子密度)，所以l可看成是蒸汽分子的平均自由程(cm)L——蒸汽射流的长度(cm)V——蒸汽射流的平均速度(cm/s)工作蒸汽在喷咀内的流动，可用一维定常等炳流的公式去计算，而工作蒸汽在喷咀外的流动比较复杂，往往是膨胀波、微压缩波和激波共存的复杂流场