文档介绍：30
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特殊气体管路施工标准
特殊气体管路暨高洁净度管路
施 工 规 范
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随意开、关、拔除(机台管线)。
.任何配管配线、材料，非经过监工人员同意，不可擅自任意更改。 installation
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特殊气体管路施工标准
管路架设
在无尘室或简易洁净室执行高洁净度配管工作时，必须遵循以下的规定。
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携入
材料必须置于特定的贮藏间，在工地现场或在材料间要提供暂时性的简易洁净室，所有材料要存放整齐。在存放材料时，有电子抛光的管件必须和未经电子抛光的管件分开。在尚未使用管件之前都不要将塑料封套打开直到现埸要使用时方可打开，并且不要将材料直接放在地上。
切管
切管时，使用的自动切割机或手动切管器必须是专门为半导体厂工作所设计的。切管器的刀片与管件成垂直方向，当使用自动切割机时，放刀片的深度要能使管壁尚有薄薄的一层未切断，藉以防止切割时的碎屑进入管内。
倒角
原则上，在使用倒角机(TUBE SIZE用)或锉刀(PIPE SIZE用)时，小心地移开切割面。如果切割面歪斜未成垂直，焊口松驰或管子弯曲等状况发生时，这种管路是不合规定，必须重新切割及配置。当倒角时，在管的另一端必须用高洁净度的氮气冲吹()。
N2冲吹
将管内的微粒冲吹出来。
工作后的清洁
检视切割机的洁净度，保持机具不受油污，如果仍然看得见有油污或切割的碎屑残余，按照以下的方法清洁之。
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特殊气体管路施工标准
用GN2冲吹
使用的N2必须经-80℃或更低的露点，。
预制工作(在简易洁净室clean booth)
在现场的焊接工作降至最低量是必需的。配管区必须在有洁净气的地方，在工作时维持风扇正常运转，于早、中、晚用O2查看器检查O2的浓度。
点焊
点焊使用TIG焊接，点焊的点数按照以下规定。
(CAJON的焊机必需保证管子确实牢固，从完成的观点来看，最好不要使用手动的TIG焊接，因此点焊被省略)。
3/4” 到15A到80A：3~4点。
冲吹气体(Back seal gas)
使用氩气，露点-80℃或更低，，微粒()含量为零。
冲吹用管套
连接冲吹气体管路与架设管路，使用(Back seal jig)
如图(一)所示
Back sea jig
(Back seal gas)
图(一) (参考用)
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特殊气体管路施工标准
架设程序(图二)
将工作管路两端套上管套，连接冲吹气体及阀
氩气冲吹(预先冲吹1分钟以上)
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点 焊
ò
氩气冲吹
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焊接(自动焊接)
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氩气冲吹风(收尾冲吹1分钟以上)
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图(二)
装封(在Clean booth内进行)
完成焊接之后，在管内充满Ar气，而且用无尘的塑料纸在末端包裹两层。如果末端的阀已经连接好了，把阀也用塑料纸裹起来。
2-
预制管件连结
连结在Clean booth 装封好的管件
现场焊接
现埸焊接的人员必须有受过高洁净度配管技术检定通过。
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