微电机 第一讲MEMS 与 NEMS.ppt

文档介绍：微纳米机电系统机械工程进展概述(三)
主讲:翁海珊
参考书
《微纳米技术及其应用》李德胜关佳亮石照耀张建辉等编著科学出版社
《微机械电子系统及其应用》刘广玉等编著北京航空航天大学出版社
《MEMS和微系统——设计与制造》(美)刘泰然著机械工业出版社
《纳米材料和器件》朱静等编,清华大学出版社
《微系统技术》(德)王春海等译, 化学工业出版社
本期讲座小论文题目
微纳米机电系统与宏观领域的机电系统有何不同?
微纳米技术对社会发展、经济建设有什么作用?
请任选一个题目,课外查有关资料后,写一篇2000字以上的小论文,注明参考资料。
微纳米机电系统
MEMS 与 NEMS
1
微机电系统与传统机械系统
2
微纳米的研究领域和应用前景
3
微纳米机电系统
第一讲 MEMS 与 NEMS
MEMS 与 NEMS
MEMS 与 NEMS概述

MEMS 与 NEMS的发展

MEMS 与 NEMS的特性

MEMS 与 NEMS 概述
在美国称为微机电系统MEMS(Micro Electro Mechanical Systems);
在日本称为微机械(Micro machine);
在欧洲称为微系统(Micro system)。
MEMS ——微机电系统或微型机械
NEMS ——纳(米)机电系统
(Nano Electro Mechanical Systems)
名称
MEMS 与 NEMS 概述
宏观机械
微小型机械
MEMS
NEMS
10mm以上
1mm-10mm
1μm-1mm
1nm-1μm
尺寸
nm μm mm
MEMS 与 NEMS 概述
尺寸
在21世纪最为瞩目的两个高科技领域——信息技术和生物技术中起着不可估量的作用;
在军事领域中也起着巨大作用;
关系国民经济建设和国家安全保障的战略高科技。
微纳机电系统技术是一项战略高科技
MEMS 与 NEMS 概述
研究的意义