文档介绍：无尘车间培训教材1
1,000
10,000
外大气层
大气层
田园地带
街市区
10,000,000
1,000,000
100,000
工业地带
一般自然界气体等级
感性认知
8
）效率，试验尘源为高浓度标准人工尘，测量尘源为大气尘。“量“为测量阶段采样滤纸的通光量。每经过一段发尘试验，测量不发尘时过滤器前后采样滤纸通光量的差别，用特定计算方法得出所谓”过滤效率“。比色法效率是试验全过程各测量阶段效率依发尘阶段发尘量的加权平均值。
%***@
Pre-filter
HEPA
filter
Bag-filter
95%***@1~5um
90~95%
%***@
HEPA
filter
FAN
Filter
HEPA/
ULPA
CR
%***@~
1μm
肉眼可见
5μm
工作区域
头发断面
15μm
过滤网设计
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送风量及FFU数量计算
:
;
(依据<洁净厂房设计规范>每人每小时新风量不小于40m3);
Q=Max(Q1&Q2)或 Q=Max( Q1&Q2 )+ Q泄漏量
Q泄漏量=µA(ΔP)
µ-泄漏系数,A-泄漏面积, ΔP-压差;
=QS/QFFU额定风量,
QS=V*ACH (V-房间体积;ACH-换气次数.)
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滤网的使用寿命
当过滤网达到额定容尘量的时候即需要更换.
T=P/N1*10-3Qtη
T-过滤器使用寿命；（d）
P-过滤器容尘量;(g)
N1-过滤器前空气含尘浓度;(mg/m3)
Q-过滤器的风量;(m3/h)
t- 过滤器一天的工作时间;(h)
η- 计算过滤器的计重效率.
此外、在下列任何一种情况下，应更换高效空气过滤器:
1 气流速度降到最低限度。即使更换初效、中效空气过滤器后，
气流速度仍不能增大。
2 ～2 倍。
3 高效空气过滤器出现无法修补的渗漏。
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无尘室
初级滤网
預冷盘管
預热盘管
加湿器
截水器
冷却盘管
加热盘管
初级滤网
送风机组
中级滤网
ＨＥＰＡ
逆止风门
外气空调箱
温湿度控制
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通常无尘室均需維持正压以防止外部污染流入,并有利于内部微尘的排出。正压值一般遵循以下两条设计：
1、不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的压差，应不小于5Pa；
2、洁净厂房室内与室外的压差应不小于10Pa，一般为10~20Pa。
(1Pa=1N/m2)
正压
Class1K
P1+10Pa
Class10K
P1+5Pa
+ + +
P1=P+10~20Pa
P
CR
外界
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洁净室管控手段
制定监测表
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1、方法
计数浓度法
2、仪器
光散射粒子计数器
3、采样点布置
a）。
b）采样点多于点时，～
4、最小采样量
测试采样
面积m2 洁净度级别
1000 10 000 100 000
〈10 2～3 2 2
≥10～ 〈20 4 2 2
≥20～〈40 8 2 2
≥40～〈100