真空镀膜技术基础（张以忱）.ppt

文档介绍：经作者授权,版权所有归东北大学真空与流体工程研究中心与原作者共有。未经本中心及原著者同意, 任何人或任何单位不得私自拷贝、刻录、传播、转载本讲义,或用于商业用途。东北大学第八期《真空技术》培训班经作者授权,版权所有归东北大学真空与流体工程研究中心与原作者共有。未经本中心及原著者同意, 任何人或任何单位不得私自拷贝、刻录、传播、转载本讲义,或用于商业用途。主讲人:张以忱真空镀膜技术基础 Vacuum and Fluid Engineering Research Center of Northeastern University, China 《真空技术》?一. 真空技术概况(巴德纯) ?二. 真空工程理论基础(张世伟) ?三. 干式真空泵原理与技术基础(巴德纯) ?四. 真空系统组成与设计基础(刘坤) ?五. 真空获得设备原理与技术基础(张以忱) ?六. 真空测量技术基础(刘玉岱) ?(张以忱) ?八. 质谱原理与真空检漏(刘玉岱) ?九. 真空冶金技术基础(王晓冬) ?十. 真空与低温技术及设备(徐成海) 东北大学第八期培训系列之 Vacuum and Fluid Engineering Research Center of Northeastern University, China 主要内容?1. 真空镀膜概论?2. 真空蒸发镀膜?3. 真空溅射镀膜?4. 真空离子镀膜和离子束沉积技术 Vacuum and Fluid Engineering Research Center of Northeastern University, China 1. 真空镀膜概论 Vacuum and Fluid Engineering Research Center of Northeastern University, China 真空镀膜技术?真空镀膜在真空条件下利用某种方法,在固体表面上镀一层与基体材料不同的薄膜材料, 也可以利用固体本身生成一层与基体不同的薄膜材料,即真空镀膜技术。 Vacuum and Fluid Engineering Research Center of Northeastern University, China 真空镀膜特点?在真空条件下镀膜,膜不易受污染,可获得纯度高、致密性好、厚度均匀的膜层。?膜材和基体材料有广泛的选择性,可以制备各种不同的功能性薄膜。?薄膜与基体附着强度好,膜层牢固。?对环境无污染。 Vacuum and Fluid Engineering Research Center of Northeastern University, China 真空镀膜技术分类?物理气相沉积( PVD ) 如:热蒸发沉积、溅射沉积、离子镀和分子束外延?化学气相沉积( CVD ) 如:热化学气相沉积、光化学气相沉积、等离子体化学气相沉积?物理-化学气相沉积( PCVD ) Vacuum and Fluid Engineering Research Center of Northeastern University, China 真空表面处理技术的分类 Vacuum and Fluid Engineering Research Center of Northeastern University, China 各种干式镀膜技术的比较 Vacuum and Fluid Engineering Research Center of Northeastern University, China 真空镀膜的应用薄膜的应用非常广泛,它可以应用于电子、机械、光学、能源、轻工、食品、建筑、装饰等工业方面以及传感器、变换器等。此外,塑料表面金属薄膜以及金属表面的塑料薄膜广泛应用于日常生活各方面。