文档介绍：太阳能电池片PECVD
英管，是镀膜的作业区域，耐高温、防反应。
加热系统：位于石英管外，有五个温区。
冷却系统：是一套封闭的循环水系统，位于加热系统的金属外壳，四进四出并有一个主管道，可适量调节流量大小。
冷却系统的优点:
没有消耗净室空气
不同管间无热干涉
炉环境的温度没有被热空气所提升
空气运动（通风装置）没有使房间污染
噪音水平低
PECVD冷却系统示意图
PECVD真空系统
真空系统
真空泵：每一根石英管配置一组泵，包括主泵和辅助泵。
蝶阀：可以根据要求控制阀门的开关的大小，来调节管内气压的
PECVD控制系统
控制系统 CMI:是 Centrotherm 研发的一个控制系统，其中界面包括 Jobs（界面） 、System（系统）、Catalog（目录）、Setup（软件）、Alarms（报警）、Help（帮助）.
Jobs:机器的工作状态。
System:四根管子的工作状态，舟的状态以及手动操作机器臂的内容。
Datalog:机器运行的每一步。
PECVD控制系统
Setup: 舟的资料的更改，工艺内容的更改，使用权限
的更改，LIFT位置的更改，CMS安区系统 （安装的感应器将监控重要系统的运行情况，而一旦不受管的计算机的控制，CMS将会发生作用，所有的错误信息也都会在CIM上得以简洁的文本方式显示出来）的更改等。
Alarms：警报内容
Help:简要的说了一下解除警报以及其他方面的方法
CESAR:控制电脑，每一个系统都安装了CESAR控制电脑及CESAR 控制软件，此控制电脑独立于主电脑系统中。
PECVD控制系统示意图
设备结构
进料腔
加热腔
工艺腔
冷却腔
气压计 气压开关
温度计
电阻丝加热
机械泵
罗茨泵
返回运输马达和sensors
Position sensors Driver
红外加热
出料腔
进料腔-加热腔气压 *10-2mbar
温度：400摄氏度
进料腔：红外加热
加热腔、工艺腔：电阻丝加热
机械泵、罗茨泵抽真空：GV600 无水泵是一个装有3 对凸轮爪马达的4 冲程泵，包括一台主泵和一台备用泵。
EH4200是一种大排水量真空泵，这种泵由一个三相电机通过液态流进行驱动，其允许在较高的压力下进行操作。
PECVD过程
进料腔(1)
加热腔(2)
工艺腔(3)
冷却腔(4)
出料腔(5)
进料腔：有预热的作用,在载板进入腔体后,
先冲入N2,再进行抽真空;
加热腔： 在工艺中起着加热的作用;
工艺腔 ： 在等离子及真空条件下,硅烷与氨气在400 ˚C时反应生成Si3N4,覆盖在硅片表面上;
进料腔与出料腔 防止特色气体溢出,
增加安全性.
使电池片体逐渐降低温度
冷却水＊６
石英管＊６
温度设置
速度设置
气压设置
设置功率
实际功率
反射比率
角阀
气体流量
冷却水＊４
PECVD等离子体源简图
微波发生器
真空腔
基片
PECVD电池片检验标准
看颜色是否合格（合格的颜色为深蓝，蓝色，淡蓝）
色差和水印不超过整体面积的5%
—，膜厚在80 ±5nm（生产过程中取每批次任意6片进行折射率和膜厚的测定）
镀膜后电池片
正常片
常见缺陷
表面发白
表面脏片
色差
白点
水纹片
PECVD异常处理
异常
诊断
措施
整体镀膜颜色不符合要求
氮化硅层厚度偏离正常范围
调整带速至颜色符合要求，偏紫增加带速，偏蓝降低带速。
镀膜颜色不稳定
微波反射功率异常，或微波有泄漏
停止工艺，重新安装微波天线或更换石英管。
沉压后颜色异常
折射率不在范围内
调整NH3和SiH4流量比例使折射率达到要求。
压强达不到工艺要求
腔体有漏气
重新开腔擦拭密封圈或更换密封圈、更换或重装石英管或其管口密封圈，严重时用氦检仪做漏气点检查并排除异常。
腔体内有硅片碎片
载板挂钩变形或传动轴异常
有挂钩变形的载板要及时更换，传动轴擦拭或有异常请设备检修。