文档介绍：材料X射线光电子能谱数据处理及分峰的分析实例
例:将剂量为lxl07ions/cm2,能量为45KeV的碳离子注入单晶硅中，然后在1100C退火2h进行热处理。对单晶硅试样进行XPS测试，试对其中的C”高分辨扫瞄谱进行解析，以确定各种可能
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图10
5、拟合。选好所需拟合的峰个数及大致参数后，点Optimiseregion进行拟合,观察拟合后总峰与原始峰的重合情况，如不好，可以多次点Optimiseregiono最终拟合结果见图11。
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图11
6、参数查看。拟合完成后，分别点另一个窗口中的RigionPeaks下方的0、1、2等可看每个峰的参数，此时XPS峰中变红的为被选中的峰。如对拟合结果不region满意，可改变这些峰的参数，然后再点Optimise。
7、点击SaveXPS存图,下回要打开时点OpenXPS就可以打开这副图继续进行处理。
8、数据输出。
点击DataPrintwithpeakparameters,可打印带务峰参数的谱图，通过峰面积可计算此元素在不同峰位的化学态的含量比。
点击DataExporttoclipboard,则将图和数据都复制到了剪贴板上，打开文档(如Word文档)，点粘贴，就把图和数据粘贴过去了。
点击DataExport(spectrum),则将拟合好的数据存盘，然后在Origin中从多列数据栏打开，则可得多列数据，并在Origin中作出拟合后的图。
XPS能谱数据处理王博吕晋军齐尚奎
能谱数据转化成ASC码文件后可以用EXCEL、ORIGIN等软件进行处理。这篇文章的目的是向大家介绍用ORIGIN软件如何处理能谱数据，以及它的优势所在。
下面将分三部分介绍如何用ORIGIN软件处理能谱数据：1、多元素谱图数据处理2、剖面分析数据处理3、复杂谱图的解叠一、多元素谱图的处理：
1、将ASC码文件用NOTEPAD打开：
一一一一+元素名称
采集的数据点总数
2、复制Y轴数值。打开ORIGIN,将Y轴数据粘贴到B(Y)：
3、如图：点击工具栏plot,选择line
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4、出现下图：点击B(Y),再点击<.>Y,使B(Y)成为Y轴数据。然后在"setXvaluesM中输入起始值和步长。
5、点击OK,得到下图:
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6、利用0RIGIN提供的工具可以方便的进行平滑、位移。
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1）如图：选择analysis->translate->vertical或horizontal可以进行水平或垂直方向的位移。我们以水平位移为例进行讲解。
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2）在图中双击峰顶，如图示（小窗口给出的是此点的X,Y值）<iwButaArtolysisTooZsFfirmWindowHalp
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8000
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3）然后在图中单击其他位置找到合适的X值（小窗口给出的是红十字的X,Y值）
6000
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4）双击红十字的位置，峰顶就会位移到此处:
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