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为了进一步研究讨论AlN薄膜样品a、b、c、d的: .
为了进一步研究讨论AlN薄膜样品a、b、c、d的物质结构。对所做样品进行拉曼（Raman）光谱和傅立叶变换红外（FTIR）光谱分析来鉴定AlN的分子结构。、b、c、d的拉曼光谱,，由图可知Si衬底的拉曼特征散射峰在521cm-1非常强,Si的第一拉曼峰在520cm-1，第二拉曼峰在950P90cm-1[10]在图中都可以活晰地看到，所以选择AlN薄膜的拉曼光谱的拉曼位移范围从600cm-1到1500cm-1。为了更活晰地研究和讨论AlN薄膜的拉曼光谱的特征峰，将950-990cm-。
r
；2^—
n
L
Si944-984
600800100012001400—…，-1、Ramanshift（cm）
、c、d的拉曼光谱图
左上插图为衬底Si的拉曼光谱图
右上插图为AlN薄膜的600-900cm-1范围拉曼光谱放大图
根据群论可知，钎锌矿结构的AlN届丁空间群C46v（P&mc）［11］,理论分析推测区中心的光学模式可以描述为「=Ai+2Bi+Ei+2E2，其中Ai,Ei和两个E2模式是拉曼活性，而Bi则是非活性。而且，A1,E1模式分别劈裂纵向声子模式和横向声子模式，产生了A1（LO,TO）模式和E1（LO,TO）模式，在200-500cm-1范围的AlN特征峰为声频声子，在600-900cm-1范围的AlN特征峰为光频声子［12］。［13］。
（波数）
ModeE2（low）~~A1（TO）~~E2（high）""E1（TO）A1（LO）E1（LO）
-energy（cm
1）
，分别在620,670,and824cm-1中心附近位置有三个比较明显的拉曼特征峰，-1位置的拉曼谱特征峰对应丁AlN薄膜的E1（TO）模式。620cm-，［12］等人认为是AlN薄膜的A1（TO）声子模式，本论文认为此峰应归为衬底硅的620cm-1声子模式，从硅衬底的拉曼光谱中可以看出，另外与下边要讨论的AlN薄膜傅立叶变换红外光谱有非常好的吻合。［14］.
Ribeiro［15］等人认为特征峰824cm-1可以归结为是硅衬底的拉曼峰，邓咏桢等人将此峰归结为硅衬底与AlN薄膜之间的三维岛状结构所致［16］,本文认为是衬底硅的拉曼特征峰。
当激光能量大丁300mJ/puls时，AlN薄膜的670cm-1特征峰都可能活晰的观测到，这就说明激光能量在