文档介绍：半自动清洗作业指导书
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裂片.
清洗完成后将硅片连同插片花篮横向放置装入甩干机内,花篮摆放必须保证平衡,要求对称放置；〔见图二〕
图
双手同时按限制面板两边的红色“关门〞按钮,待门完全关闭后,按绿色“启动〞按钮甩干,甩干过程为260秒,温度120±5C；待限制面板上的时间归零,按开盖按钮；
开盖后将花篮拿出；将甩干后的硅片整洁地摆放到硅片周转台上待检,用完的花篮、提篮整洁摆放在指定区域；
每次更换清洗液后,用温度计测量升温后的水槽内温度是否与设定值一致,温差范
围在土2C；
工艺参数设置表：
第一槽
第二槽
第三槽
第四槽
第五槽
第六槽
第七槽
甩干机
半自动
温度
45±5°
0土5°
50±5°
50±5°
50±5°
45±5°
50±5°
120
时间
360#
360
360#
360
360#
360
360
260#
注意：整个清洗过程中,严禁花篮、提篮摆放在地上
六、技术规格和标准:
环境要求：
.湿度055%RH;
.温度23±3c；
附件：
无要求；
爱人者,人恒爱之；敬人者,人恒敬之；宽以济猛,猛以济宽,,宰相肚里能撑船.
.
君子贤而能容罢,知而能容愚,博而能容浅,粹而能容杂.
宽容就是忘却,人人都有痛苦,都有伤疤,动辄去揭,便添新创,旧痕新伤难愈合,忘记昨日的是非,忘记别人先前对自己的指责和谩骂,时间是良好的止痛剂,学会忘却,生活才有阳光,才有欢乐.
不要轻易放弃感情,谁都会心疼；不要冲动下做决定,,就再也不见；也许只一次主动,就能挽回遗憾.
世界上没有不争吵的感情,只有不肯包容的心灵；生活中没有不会生气的人,只有不知原谅的心.
感情不是游戏,谁也伤不起；人心不是钢铁,,凭的就是真心真意；真感情,要的就是不离不弃.
爱你的人,舍不得伤你；伤你的人,,,都有旁人看不懂的情深.
人在旅途,肯陪你一程的人很多,,谁又从未走远,谁能为你一直都在？
这世上,别指望人人都对你好,,能放在心上的人毕竟不多；感情就那么一块,心里一直装着你其实是难得.
动了真情,情才会最难割；付出真心,心才会最难舍.
你在谁面前最蠢,,会让你智商下降,完全变了性格,越来越不果断.
所以啊,不管你有多聪明,多有手段,多富有攻击性,真的爱上人时,就一点也用不上.
,很有手段,谁就真的不爱你呀.
遇到你之前,我以为爱是惊天动地,爱是轰轰烈烈抵死缠绵；我以为爱是荡气回肠,爱是热血沸腾幸福满满.
我以为爱是窒息疯狂,,我开始懂得爱是经得起平淡.
爱人者,人恒爱之；