文档介绍：表面与界面结构对器件性能的影响（ITO）
摘要
利用高锰酸钾溶液对有机电致发光器件的阳极ITO玻璃表面进行处理的方法，改善器件的性能。我们把经过预处理后的ITO玻璃薄片浸泡在不同浓度的高锰酸钾溶液中，%〜0被注入了 02 一离子，这个改变降低了 ITO表面载流子的浓度,.从而降低了 ITO的导电性［s］.如果面电阻被大幅度地提高，可能与rro膜层厚度的降低有很大关系，例如用低浓度王水处理的ITO玻璃在ITO 膜层厚度降低的同时，面电阻也被大幅度地提高了［01］,如果需要降低其面电阻, 高温退火处理将是一个很好的办法，但它同时会将己经提高了的功函数还原到未处理前。
ITO的表面处理不仅改变表面形态,也将会引起表面化学成分的变化等,从而导致表面功函的改变。表面处理将改变ITO膜表面的Sn、In、O浓度,而对ITO 功函数有作用的主要是Sn和O的浓度，，氧空位的减少和Sn4十掺杂原子的减少都将降低施主浓度，使功函数增加。文献11采用氧等离子体、氧辉光放电及臭氧环境紫外线处理等处理
ITO表面时，间隙氧扩散进ITO中与Sn形成不活泼的复合物，减少了导带中的电子数量，使中rro增加。WuCC等人【通过实验得到氧等离子体处理使sn浓度减小，氧浓度增加的结果，并用这一结果解释了氧等离子体处理使中二增加的原因。LeQT等人】研究了酸、碱处理对ITO表面功函数的影响。从其实验数据来看，酸处理使ITO表面的sn浓度减小，氧浓度增加，中二增加，而碱处理则与酸处理相反［5］。sugiyamaK等人［6j通过uv 一臭氧及Ne 一溅射处理比较了表面处理对ITO表面中◎的影响程度，结果发现影响作用大小的次序为：氧浓度、Sn浓度及表面有机污物的去除程度。
尽管ITO玻璃目前己经商业化，但是采用商业ITO玻璃不经处理所制备的有机电致发光器件性能较差。对现有的商业ITO玻璃上进行一定的处理可以有效地提高器件性能，所以更多的研究者在寻求新的处理方法改善ITO表面的特性来提高有机电致发光器件的性能。
ITO薄膜表面的特性主要包括功函数(workfunetion)、粗糙度(RMS)、表面有机污染物含量、面电阻(sheetresistanee)和透明度。而这些特性对OLEDs的性能产生了不同的影响［l7 — 23］,例如发光亮度一电压曲线、发光亮度一电流曲线等。因此可以通过不同的处理方法来改变IT0的表面特性，从而改善OLEDs的性能。目前对ITO的处理方法主要分为物理和化学两种方法:物理方法主要是等离子处理，包括O:和Ai,UV-ozone,氧辉光放电(02GD劝和抛光处理等;化学方法主要包括酸碱处理、氧化剂处理以及在汀0表面增加其它化合物浏等。
我们经过大量的试验，提出了用高锰酸钾(氧化剂)水溶液处理ITO玻璃表面, 得到了很好的结果。实验中将ITO玻璃片浸泡在不同浓度下的高锰酸钾溶液中，进行不同时间的超声，并优化实验条件,经过处理后的ITO玻璃片和没有处理的 ITO玻璃片在同一条件下进行有机电致发光器件的制备，发现经过高锰酸钾处理的样片和对比样片相比，器件的亮度和效率都有提高。
我们把经过正常的前期处理后的ITO玻璃片浸泡在不同浓度的高锰酸钾溶液中，%