文档介绍：页数 23/59 5. 人体的除电对策、静电鞋和导电地板材的测定方法在使用半导体设备的工程, 必须要实施穿好静电鞋和对导电地板材进行施工的人体除电对策。与戴静电一样,只有戴正确和进行日常的维持管理才能发挥它本来的作用。在坐着的状态,由于人体的载重不足,接触电阻就会增大,就不能得到所定的绝缘电阻。坐着作业时,要同时使用静电手环来进行除电对策。静电鞋、导电地板的除电对策在步行时、站着作业时,都不要忘记发挥它所有的作用。 静电鞋的构造中层高电阻导电纤维( 1× 10 8Ω以下) 高电阻导电胶( 1× 10 6Ω以下) 鞋底鞋底或中间层变脏、穿着厚袜子的时候,电阻值会增加。相反,鞋子里夹有金属物时,电阻值会下降,万一发生危险的漏电等事故时,人体会很危险,很难保护人体。 穿静电鞋来除电 a) 静电鞋的例子例-1 b) 穿静电鞋的状态和穿时的检查(作业前的确认) . NO21001014 例- ICM-2100 (男) ICL-2101 (女) 和穿普通的鞋一样,要穿好注意点穿袜的人发汗使得袜子有静电通过,所以不要穿过厚的袜子、连穿好几双,另外由于它的材质也会发生变化,所以使用时要注意。(袜子以纯毛制→尼龙制→纯棉制的顺序,电阻逐渐降低) 操作部静电鞋的静电点检器的例制造公司ハツコウ. 名称防静电鞋的万用点检器型号 MODEL 441 操作方法请参照本体的仕样书页数 24/59 作业现场穿好静电鞋时的检查在实际作业现场确认导通状态(系统合成电阻/ 静电鞋、地板) 使用测定器系统分析器 EN-425 设定电阻值设定为 100M Ω使用方法请参照本体的仕样书检查方法◇检查手顺 1 戴着静电手环时,先把静电手环取下 2 将系统分析器的地线接到地线干线上。 3 开始测定按系统分析器的按纽 4 确认测定结果系统合成电阻比 1M Ω低的场合,红色的 LED ( CAUTION )灯会亮由于异常所以不能作业如果在测定范围内的话( 1~100M Ω) ,绿色的 LED ( SAFE )灯会亮。由于异常所以不能作业红色、黄色的 LED 灯同时亮时,表示 Low Battery 即使换电池 5 记录检查结果 6 在开始检查前在戴着静电手环的场合,请再次戴好关于系统合成电阻/ 静电鞋、地板静电鞋的着用和导电地板面的合成电阻值 R1 :静电鞋的电阻值(保护电阻) 包括鞋底、地板面脏引起的电阻、地板面的电阻 R2 :静电鞋、袜子和作业员的接触电阻 R3 :作业员的人体电阻(约 1K Ω) R4 :分析器按纽和手指的接触电阻( 500K Ω以上) R5 :分析器和地线间的电阻(成为低电阻) R6 :接触电阻(成为低电阻) 连接部无污垢、锈、异物、松动地线干线连接系统分析器的地线 R4站在导电处理的地板面(导电胶皮垫子、导电涂装)上页数 25/59 b) 点检器的动作确认(系统分析器) 不光是点检器,只要是器械发生故障,都要进行效果确认来防止事故的发生◇确认方法使人体处于非接地的状态,确认进行检查的判定是“ CAUTION ”或“ ALERT ”的器械,能判明器械在进行基本的动作使人体处于非接地的