文档介绍：放射线测量装置制造方法
放射线测量装置制造方法
本发明的放射线测量装置构成为：在用绝缘材料形成为扁平形状的壳体(1)内，将在一个面上具有公共电极(5)的公共电极基板(4)和在一个面上具有多个信号电极(2)的信号电极基板(3)配置成与沿壳的放射线测量装置的简要结构的简要剖面侧视图。
图3是表示本发明实施方式I所涉及的放射线测量装置的详细结构的放大剖面侧视图。
图4是表示本发明实施方式I所涉及的放射线测量装置在使用时的概念的立体图。
图5是表示本发明实施方式I所涉及的放射线测量装置的其它结构的简要外观图。
图6是表示本发明实施方式I所涉及的放射线测量装置的另一其它结构的简要剖面侧视图。
图7是表示本发明实施方式2所涉及的放射线测量装置的结构的简要外观图。
图8是表示本发明实施方式2所涉及的放射线测量装置的简要结构的简要剖面侧视图。
图9是表示本发明实施方式3所涉及的放射线测量装置在使用时的概念的立体图。
【具体实施方式】
[0013]，图2是图1中A-A位置处的简要剖面侧视图，图3是放大剖面侧视图。图1是图2中B-B位置处的剖面图。图4是表示在使用本发明实施方式I所涉及的放射线测量装置时的概念的立体图。首先，利用图4的概念图，对本发明的放射线测量装置的结构的概要、以及使用时的状况进行说明。放射线测量装置100作为整体具有下述结构，即:在形成为扁平形状的壳体I内，信号电极基板3和公共电极基板4以具有规定间隙的方式相对配置，其中，信号电极基板3由多个信号电极2配置成十字形而得到，公共电极基板4如图3的放大图所示，通过将公共电极5设置在聚酰亚***基板41上而得到。在壳体I内充满了因放射线50而发生电离的气体、例如大气等。该放射线测量装置100配置在充满了水71的水槽70内。水槽70内的水成为水假体。
[0014]如图3的放大剖面图所示，信号电极基板3是多层基板，且配置成在聚酰亚***基板31上使多个信号电极2成为与公共电极5相对的面。各个信号电极2被成为接地电位的接地电极20所包围。在聚酰亚***基板31和聚酰亚***基板32之间也设置有成为接地电位的接地电极21，而且在聚酰亚***基板32的与设置有接地电极21的面相反一侧的面上也设置有成为接地电位的接地电极22。这些接地电极20、21、22规定成为信号电极基板的基准的接地电位，并且接地电极20成为信号电极2的保护电极。典型的是，公共电极基板4和信号电极基板3的聚酰亚***基板41、31、32等的厚度为数10 μ m,且各个电极的厚度为10?20 μ m左右，公共电极基板4和信号电极基板3的整体厚度均为100 μ m级。
[0015]在图1、图4中示出了在各个方向上排列着10个左右的信号电极2来作为多个信号电极2的状态，信号电极2的个数根据测定所需的解析度来决定，作为整体，有时会配置100个左右的信号电极2。从各个信号电极2向公共电极5的相反侧引出引线端子61，且引线端子61与信号线60相连接。为了在相对的信号电极2和公共电极5之间保持适当的间隙，如图1及图2所示那样配置隔板6，在两个电极之间充满了大气。因该隔板6而以具有规定间隙的方式相对着的信号电极基板3和公共电极基板4的组合通过螺钉等被安装于壳体壁11，以使得其整体被