文档介绍：工件表面缺陷检测装置制造方法
工件表面缺陷检测装置制造方法
本实用新型公开了一种工件表面缺陷检测装置，包括高分辨率光学镜头、光学传感器、载物架、传送轨道、机械手、处理单元及工作台，载物架、传送轨道、机械手及处理单元均设置在工作台上，载物定在工作台8上，所述机械手5用于移动高分辨率光学镜头I。本实施方式中，所述机械手5可沿X轴、Y轴及Z轴移动。所述传送轨道3设置在工作台8上，所述载物架2设置在传送轨道3上且可沿传送轨道3移动。所述载物架2用于承载待检测工件。所述高分辨率光学镜头I用于对待测工件进行光学成像，所述光学传感器10用于将光学影像转换为数字信号。本实施方式中，所述光学传感器10为CO) (Charge-coupled Device,电荷I禹合元件)图像传感器。
[0016]具体而言，本实施方式中，所述载物架2的底部设置有与传送轨道3配合的滑轨。所述工作台8上还设置有气缸9，所述气缸9的推杆与载物架2固定相连。当所述气缸9伸缩时即可通过其推杆推动载物架2在传送轨道3上移动。当然，其他实施方式中，所述载物架2亦可采用其他的结构与传送轨道3进行配合，只要能够满足载物架2可在传送轨道3上移动即可。
[0017]所述夹具7固定在工作台8上。所述处理单元6与机械手5、气缸9、高分辨率光学镜头I及夹具7相连。具体而言，所述处理单元6用于控制机械手5、气缸9及夹具7的运动以及开启或者关闭所述高分辨率光学镜头I。
[0018]所述高分辨率光学镜头I上还设置有光源，且所述高分辨率光学镜头I与光源的同时被开启或关闭。
[0019]使用时，先将一合格的标准工件放置在载物架2上，通过控制处理单元6控制气缸9的运动，以推动载物架2的运动。待载物架2运动至高分辨率光学镜头I的下方后，所述高分辨率光学镜头I即开始对载物架2上的标准工件的表面进行拍摄，同时，所述光源用于照亮标准工件的表面。所述处理单元6还同时控制机械手5在Z轴上上下移动，以实现对工件的表面的对焦。当对焦完成之后，所述处理单元6即控制机械手5在水平面上(即沿着X轴及Y轴的方向)移动，以对工件的不同区域的表面进行拍摄，并将拍摄得到的图像传送且存储至处理单元6。上述图像即被视作标准图像。
[0020]在得到标准图像之后，从载物架2上取下标准工件并换上待测工件。同样的，通过控制处理单元6控制气缸9的运动，以推动载物架2的运动。待载物架2运动至高分辨率光学镜头I的下方后，所述高分辨率光学镜头I即开始对载物架2上的待测工件的表面进行拍摄，同时，所述光源用于照亮待测工件的表面。所述处理单元6还同时控制机械手5在Z轴上上下移动，以实现对待测工件的表面的对焦。当对焦完成之后，所述处理单元6即控制机械手5在水平面上(即沿着X轴及Y轴的方向)移动，以对待测工件的表面的不同区域进行拍摄，并将拍摄得到的图像传送且存储至处理单元6。所述处理单元6即将得到的图像与之前存储的标准图像进行对比分析，以判断待测工件的表面是否具有划痕、裂纹、破损。若所述处理单元6判断待测工件表面的划痕、裂纹或破损的尺寸超过预设范围，即判断待测工件为不合格产品，则所述处理单元6控制夹具7运动至载物架2处并夹取被判定为不合格的产品。
[0021]进一步的，所述工作台8上还设置有用于接收表面有缺陷的待测工件的第一收集管及用于接收合格工件的第二收集管，该第