文档介绍：涂布装置与涂布方法
专利名称：涂布装置与涂布方法
技术领域：
本发明涉及在平板式面板制造过程中用于在基板上涂布糊剂或滴下液晶的涂布装置或涂布方法。
背景技术：
作为现有技术，如特开平7-275770号公报中所记载的，是这样的结构移动平台支持托架8a～8f，将用于支持多个涂布头的X轴方向移动用的线性伺服电动机设在里面侧、将Z轴伺服电动机10a～10b设在表面侧。通过该Z轴伺服电动机10a～10b设置使涂布部上下移动的Z轴移动平台9a～9f。在该Z轴移动平台上安装有糊剂收纳筒(注射器)13a、设置喷嘴的喷嘴支持工具14a、距离计16a、及具有可以照明的光源的镜筒与图像识别摄像机15a。
另外，具有可以照明的光源的镜筒与图像识别摄像机15a，被设置成除了用于各涂布喷嘴的平行调整或间隔调整之外，还为了基板位置的对准或糊剂图案的形状识别而对向基板。
在支架1内部，设有控制驱动各机构的线性电动机4am、4bm、8am～8fm和移动平台的伺服电动机6m的主控制部17a。该主控制部17a经电缆17e与副控制部17b连接。副控制部17b控制驱动Z轴移动平台的伺服电动机10a～10f。主控制部17a上连接有监视器17f和键盘17g、作为外部存储装置的硬盘17c、软盘17d。在这样的主控制器17a中的各种处理的数据由键盘17g输入，根据用图像识别摄像机15a～15f所捕捉到的图像或由在主控制部17a中进行的图像处理等的位置的算出求构架的伸展量，用监视器17f表示这些处理状况。另外，从键盘17g输入的数据等，存储保管在作为外部存储装置的硬盘17c或软盘17d等的存储介质中。
图2是放大显示图1中的糊剂收纳筒13a与距离计16a的部分的斜视图。从糊剂收纳筒到喷嘴前端由喷嘴支持工具14a支持。在图2中，与图1中对应的部分使用相同的符号。
距离计16a，用非接触的三角测法测量相对于喷嘴的前端部至由玻璃形成的基板7的表面(上表面)的距离。即，在距离计16的筐体内设置发光元件，由该发光元件发射的激光L由基板7上的测量点反射，由设在相同的筐体内的光接收元件接收。另外，在基板7上的激光的测量点S与喷嘴13an的正下位置在基板7上仅偏移很小的距离，而在该很小的距离偏移中，由于在基板7的表面的凹凸上没有差，所以距离计16a的测量结果与从喷嘴13an的前端部到基板7的表面(上表面)的距离之间几乎不存在差值。因而，根据该距离计16的测量结果进行控制，由此，从与基板7的表面的凹凸(起伏)适配的喷嘴13an前端部到基板7的表面(上表面)的距离(间隔)可以维持恒定。
这样，从喷嘴13a的前端部到基板7的表面(上表面)的距离(间隔)维持恒定，并且从喷嘴13an吐出的每单位时间的糊剂量维持恒定量，由此，在基板7上涂布绘制的糊剂图案宽度或厚度变得均匀。
接下来，说明关于本实施例的控制方法。
图3是显示图1中的主控制部的构成的框图。17aa是微型计算机，17ab是电动机控制器、17ac是数据通信总线、17ad是外部接口、17ae是图像识别装置、17af是用于各涂布头移动用的X轴线性电动机的驱动器、17ag、17ah是调整涂布头的间隔的Y轴线性电动机用的驱动器、17ai是用于平台用的Y轴电动机的驱动器、17aj是用于涂布头Y轴调整移动用的电动机的驱动器，与前面的附图相对应的部分用相同附