文档介绍:IC芯片的设计生产流程
大家都是电子行业的人,对芯片,对各种封装都了解不少,但是你 知道—芯片是怎样设计出来的么?你又知道设计出来的芯片是怎 么生产出来的么?看完这篇文章你就有大概的了解。
复杂繁琐的芯片设计流程
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是会提到以尺寸标示的晶圆厂,如8寸或是 12寸晶圆厂,然而,所谓的晶圆到底是什么东西?其中8寸指的 是什么部分?要产出大尺寸的晶圆制造又有什么难度呢?以下将逐 步介绍半导体最重要的基础——「晶圆」到底是什么。
晶圆(wafer),是制造各式电脑芯片的基础。我们可以将芯片制造 比拟成用乐高积木盖房子,藉由一层又一层的堆叠,完成自己期望的 造型(也就是各式芯片\然而,如果没有良好的地基,盖出来的房 子就会歪来歪去,不合自己所意,为了做出完美的房子,便需要一个 平稳的基板。对芯片制造来说,这个基板就是接下来将描述的晶圆。
首先,先回想一下小时候在玩乐高积木时,积木的表面都会有一个 一个小小圆型的凸出物,藉由这个构造,我们可将两块积木稳固的叠 在一起,且不需使用胶水。芯片制造,也是以类似这样的方式,将后 续添加的原子和基板固定在一起。因此,我们需要寻找表面整齐的基 板,以满足后续制造所需的条件。
在固体材料中,有一种特殊的晶体结构一单晶(Monocrystalline \ 它具有原子一个接着一个紧密排列在一起的特性,可以形成一个平整 的原子表层。因此,采用单晶做成晶圆,便可以满足以上的需求。然 而,该如何产生这样的材料呢,主要有二个步骤,分别为纯化以及拉 晶,之后便能完成这样的材料。
如何制造单晶的晶圆
纯化分成两个阶段,第一步是冶金级纯化,此一过程主要是加入碳, 以氧化还原的方式,将氧化硅转换成98%以上纯度的硅。大部份的 金属提炼,像是铁或铜等金属,皆是采用这样的方式获得足够纯度的 金属。但是,98%对于芯片制造来说依旧不够,仍需要进一步提升。 因此,将再进一步采用西门子制程(Siemens process )作纯化,如 此,将获得半导体制程所需的高纯度多晶硅。
Melting of polysilicon, doping
Introduction of the seed crystal
Beginning of the crystal growth
Crystal Formed crystal pulling with a residue of melted silicon
▲硅柱制造流程(Source : Wikipedia )
接着,就是拉晶的步骤。首先,将前面所获得的高纯度多晶硅融化, 形成液态的硅。之后,以单晶的硅种(seed )和液体表面接触,一 边旋转一边缓慢的向上拉起。至于为何需要单晶的硅种,是因为硅原 子排列就和人排队一样,会需要排头让后来的人该如何正确的排列, 硅种便是重要的排头,让后来的原子知道该如何排队。最后,待离开 液面的硅原子凝固后,排列整齐的单晶硅柱便完成了。
▲单晶硅柱(Souse : Wikipedia )
然而,8寸、12寸又代表什么东西呢?他指的是我们产生的晶柱, 长得像铅笔笔梓的部分,表面经过处理并切成薄圆片后的直径。至于 制造大尺寸晶圆又有什么难度呢?如前面所说,晶柱的制作过程就像 是在做棉花糖一样,一边旋转一边成型。有制作过棉花糖的话,应该 都知道要做出大而且扎实的棉花糖是相当困难的,而拉晶的过程也是 一样,旋转拉起的速度以及温度的控制都会影响到晶柱的品质。也因 此,尺寸愈大时,拉晶对速度与温度的要求就更高,因此要做出高品 质
12寸晶圆的难度就比8寸晶圆还来得高。
只是,一整条的硅柱并无法做成芯片制造的基板,为了产生一片一 片的硅晶圆,接着需要以钻石刀将硅晶柱横向切成圆片,圆片再经由 抛光便可形成芯片制造所需的硅晶圆。经过这么多步骤,芯片基板的 制造便大功告成,下一步便是堆叠房子的步骤,也就是芯片制造。至 于该如何制作芯片呢?
层层堆叠打造的芯片
在介绍过硅晶圆是什么东西后,同时,也知道制造IC芯片就像是 用乐高积木盖房子一样,藉由一层又一层的堆叠,创造自己所期望的 造型。然而,盖房子有相当多的步骤,IC制造也是一样,制造IC究 竟有哪些步骤?接下来将就IC芯片制造的流程做介绍。
在开始前,我们要先认识IC芯片是什么。IC ,全名积体电路 (Integrated Circuit),由它的命名可知它是将设计好的电路,以堆叠 的方式组合起来。藉由这个方法,我们可以减少连接电路时所需耗费 的面积。下图为IC电路的3D图,从图中可以看出它的结构就像
房子的糅和柱,一层一层堆叠,这也就是为何会将IC制造比拟成盖 房子。
▲ IC 芯片的 3D 剖面图。(Source : Wikipedia