文档介绍：一种气溶胶传感器的制造方法
一种气溶胶传感器的制造方法
本发明提供了一种气溶胶传感器，包括：气溶胶入口、气溶胶带电单元、沉积单元、电荷检测单元、控制单元、信号处理单元、气溶胶出口；所述气溶胶入口、所述气溶胶带电单元、所述沉积单元、所述电颗粒全部截留在所述该电荷检测子单元内；
[0019]其中，所有所述预设值中至少有一个大于所述初始预设值。
[0020]进一步地，所述气溶胶入口内安装有滤膜，所述滤膜用于滤除粒径大于等于预设粒径阈值的气溶胶颗粒，所述预设粒径阈值等于最大的预设值。
[0021 ] 进一步地，所述气溶胶带电单元为针-板式离子源，所述针-板式离子源的正极为导电的尖端，负极为平板电极。
[0022]进一步地，所述导电的尖端，包括:导电的一维纳米结构、表面覆盖有金属层的绝缘的一维纳米结构、表面覆盖有金属层的半导体的一维纳米结构。
[0023]进一步地,所述一维纳米结构包括:纳米线、纳米管、纳米棒。
[0024]进一步地，所述气溶胶带电单元为线-筒式离子源，所述线-筒式离子源的正极为导电细丝，负极为柱面电极。
[0025]进一步地，所述沉积单元包括两块平行的电极板，其中一块电极板接地，另一块电极板与所述控制单元连接。
[0026]进一步地，每个所述电荷检测子单元包括两块平行的电极板和电流计，其中一块电极板与所述控制单元连接，另一块电极板与电流计连接，电流计与所述信号处理单元连接，所述电流计用于测量感应电流并输出测得的感应电流的大小。
[0027]进一步地，与所述气溶胶出口相连的电荷检测子单元为法拉第筒或法拉第盘。
[0028]进一步地，所述气溶胶传感器还包括:驱动单元，用于驱动待测气溶胶在气溶胶传感器内流动，所述驱动单元与所述气溶胶入口相连，或，所述驱动单元与所述气溶胶出口相连。
[0029]本发明提供的一种气溶胶传感器，通过多个电荷检测子单元的组合测量，并通过解析表达式或者神经网络模型对各电荷检测子单元的感应电流进行数据融合处理，能够实现较宽粒径测量范围的气溶胶颗粒的粒径分布测量，同时易于小型化。
【专利附图】
【附图说明】
[0030]为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0031]图1是本发明一实施例提供的一种气溶胶传感器的结构示意图；
[0032]图2是本发明一实施例提供的另一种气溶胶传感器的结构示意图；
[0033]图3是本发明一实施例提供的一种神经网络模型的结构图。
【具体实施方式】
[0034]为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0035]本发明提供了一种气溶胶传感器，参见图1，包括:
[0036]气溶胶入口 101、气溶胶带电单元10