文档介绍：一种平整度测试装置制造方法
一种平整度测试装置制造方法
本发明公开了一种平整度测试装置，包括本体、水平平行设置本体下部的两个固定架、设置于两个固定架上的多对通孔对；所述每对通孔对内均设置活动柱体，所述活动柱体的一端设置导电体，另一端伸出定架上设置多对通孔对，且每对通孔的圆心连线垂直于水平面；所述每对通孔对内均设置活动柱体，所述活动柱体的一端设置导电体，另一端伸出位于本体底部；所述本体的上部设置托盘，所述托盘的底部与两个固定架水平平行设置，所述托盘的底部外侧设置与活动柱体一一对应的金属导体触点对，所述金属导体触点对中的两个触点之间的间距大于O ;所述托盘内设置电源、LED灯，所述LED灯与金属导体触点对一一对应，所述LED灯的正极与金属导体触点对的一个触点连接，所述LED灯的负极与电源的负极连接，所述金属导体触点对的另一个触点与电源的正极连接，当活动柱体向上运动时，设置于活动柱体一端的导电体分别与金属导体触点对的两个触点连接，LED灯的电源接通，LED灯点亮。
[0006]所述活动柱体上设置限位装置，所述限位装置位于固定架的上部，用于防止活动柱体脱落。
[0007]所述活动柱体为圆柱体，所述圆柱体上设置凹槽，所述限位装置为圆环体，所述套接于圆柱体上的凹槽内。
[0008]还包括盖体，所述盖体设置于本体顶部，所述盖体上开设与LED灯一一对应的通孔，所述LED灯顶部部分伸出通孔。
[0009]还包括透明盖体，所述透明盖体设置于本体顶部。
[0010]所述活动柱体伸出本体底部的距离等于活动柱体一端导电体到金属导电触点对的距离。
[0011]与现有技术相比，本发明的有益效果为:
(I)该装置结构简单，精确度高，而且成本低。
[0012](2)通过LED灯是否点亮来观察研磨盘平面是否平整，以及不平整的位置，方便了工艺管理人员，不需要靠手工测试平整度。
[0013](3)设置了盖体，使得上部电路部分不需裸露在外，增加了安全性，通过透明盖体，可方便操作人员观察。
【专利附图】
【附图说明】
[0014]图1为本发明的结构示意图。
[0015]图2为图1中沿A-A剖面图部分结构示意图。
[0016]其中，图中的标识为:1-盖体；2-托盘；3-第一固定架；4-第二固定架；5-活动柱体；6-LED灯；7-LED灯负极；8_LED灯正极；9_第一导电触点；10_第二导电触点；11_导电体；12-限位装置。
【具体实施方式】
[0017]下面结合附图和实施例对本发明的技术方案进行详细说明:
如图1、图2所示，一种平整度测试装置，包括本体，所属本体包括下部、上部，所述本体的下部包括水平平行设置的两个固定架，分别为第一固定架3、第二固定架4，其中第一固定架3位于本体中部，第二固定架位于本体底部，所述两个固定架上设置多对通孔对，且每对通孔的圆心连线垂直于水平面；所述每对通孔对内均设置活动柱体5，所述活动柱体5的一端设置导电体11，另一端伸出位于本体底部；所述本体的上部设置托盘2，所述托盘2的底部与两个固定架水平平行设置，所述托盘2的底部外侧设置与活动柱体5 —一对应的金属导体触点对，分别为第一导电触点9、第二导电触点10，所述金属导体触点对中的两个触点之间的间距大于O ;所述托盘2内设置电源、LED灯6，所述LED灯6与金属导体触点对一