文档介绍：恒温装置以及恒温方法
专利名称：恒温装置以及恒温方法
技术领域：
本发明涉及半导体加工设备的温度控制，由其涉及刻蚀机、CVD等半导体加工设备的高精度恒温控制。
背景技术：
现有的恒温装置利用热交换原理，保证半导体加工设备在特殊工述加热装置之前的所述载冷剂的温度，并且设置所述加热装置的入口温度设定值；幻根据进入所述加热装置之前的载冷剂的温度与所述加热装置入口温度设定值的差，通过混合未经所述制冷装置的载冷剂与经过所述制冷装置的载冷剂，来调节进入所述加热装置的载冷剂的温度。较佳地，所述步骤2、中通过三通阀来混合未经所述制冷装置的载冷剂与经过所述制冷装置的载冷剂从而调节所述进入加热装置之前的载冷剂的温度，其中，当所述进入加
热装置之前的载冷剂的温度大于所述加热装置入口温度设定值时，增大所述三通阀的开度，由此流经所述制冷装置的载冷剂的流量增大；当所述进入加热装置之前的载冷剂的温度小于所述加热装置入口温度设定值时，减小所述三通阀开度，由此流经所述制冷装置的载冷剂的流量减少。较佳地，所述制冷装置包括蒸发器和压缩机，所述压缩机送出的制冷剂与流经所述蒸发器的载冷剂进行热交换，从而对所述经过制冷装置的载冷剂进行所述制冷。较佳地，所述压缩机为数码涡旋式压缩机。较佳地，包括获得位于所述循环流路的入口处的载冷剂的温度，当所述位于所述循环流路的入口处的载冷剂的温度大于所述预定温度时，将所述压缩机的制冷输出量设为最小。
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较佳地，包括获得所述蒸发器的出口温度，其中根据所述预定温度设置所述压缩机的吸气温度设定值，根据所述吸气温度设定值与所述蒸发器出口温度的差来控制所述压缩机的制冷量。根据进入加热装置的温度设定值与实际载冷剂温度的差，使用电控混流三通阀装置对进入加热装置前的载冷剂进行初级恒温，提高整机恒温精度。
参考下文较佳实施例的描述以及附图，可最佳地理解本发明及其目的与优点，其中图1为根据本发明的恒温装置的结构示意图；图2为使用所述恒温装置进行恒温控制的控制原理图；图3为温度控制流程图；图4为变负荷工况下的恒温精度；图5为无负荷工况下的恒温精度；图6为各负荷工况下的压缩机能效比。
具体实施例方式参见本发明实施例的附图，下文将更详细地描述本发明。然而，本发明可以以许多不同的形式实现，并且不应解释为受在此提出之实施例的限制。相反，提出这些实施例是为了达成充分及完整公开，并且使本技术领域的技术人员完全了解本发明的范围。图1为根据本发明的恒温装置100的结构示意图。如图1所示，恒温装置100具有用泵101来输送载冷剂的管路。泵101使得载冷剂由外部装置(未示)从节点m流入恒温装置100，经恒温处理后再从节点N3流回所述外部装置，从而形成载冷剂的循环流路。载冷剂(第一载冷剂)从节点m进入所述恒温装置100，并且在节点N2处，所述载冷剂分为两路，其中一路直接流至电控混流三通阀103(下文将详述)，另一路(第二载冷剂)经由蒸发器105降温成为第二载冷剂后流至三通阀103。节点m与节点N2之间设有温度传感器Si，以将自外部装置的第一载冷剂的温度Tl反馈至控制器107。蒸发器105与压缩机109形成闭环连接，由此压缩机109的制冷剂与蒸发器105中的第一载冷剂发生热交换，从而使得第一载冷剂降温而成为第二载冷剂。此外，蒸发器105