文档介绍：XPS 分析及软件应用PPT模板课件
X射线光电子能谱（XPS）分析及软件应用
报告人：汪鹏
环境学院
文档附赠有可编辑的3D小人素材
1. XPS
X射线光电子能谱（X-ray Phot
XPS 分析及软件应用PPT模板课件
X射线光电子能谱（XPS）分析及软件应用
报告人：汪鹏
环境学院
文档附赠有可编辑的3D小人素材
1. XPS
X射线光电子能谱（X-ray Photoelectron spectroscopy）：以一定能量的X射线作为激发源，照射在检测物质表面，激发出光电子，通过对光电子的能量分布进行检测，获取的电子能谱图。
获取信息：
电子结合能（元素定性）
原子结合状态（化学价态）
半定量分析（峰面积比例）
技术特点：
样品用量少（< ）
分析范围广（3-92号元素）
不需要预处理
XPS分析示意图
2. XPS数据分析
数据处理
在分析的所有元素中，选择C 1S
ev附近找到最大的峰， ev，对结合能进行修正
峰值
背景值
结合能
以O元素为例，将修正后的结合能与峰值复制至新建的空白TXT文件中，保存
峰拟合
打开XPS Peak 软件，在XPS Peak Fit对话框中选择Data-Import （ASC Π），输入上步骤保存的TXT文件
点击Background，弹出对话框，调整High/Low BE值，Type，然后Accept-Close
背景起止数值
背景类型（Shirley，Linear，Tougaard）
加背景后
点击Add Peak，弹出对话框，调整Position （峰位置），点击Accept后对话框消失，选择 Optimise Region自动拟合，
峰位置
拟合后
拟合结果不满意，继续上一步骤（添加峰），点击Add Peak，弹出对话框，调整Position （峰位置），点击Accept，选择 Optimise Region自动拟合（可多次点击）
添加峰拟合后
添加峰拟合前
自动拟合结果不满意，那就自己动手吧！调整不同添加峰的Position （峰位置），FWHM（半峰宽），Area（峰面积）
切换不同的拟合峰
峰位置，、半峰宽和峰面积
拟合后的结果
选择存为xps文件
输出XPS文件
选择Data-Export （Spectrum），输出为dat文件，可用origin重新作图
半定量分析
通过查阅不同拟合峰的峰面积，算出其相应的比例，得到半定量分析结果
Thank you！
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