文档介绍：-
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真空镀膜实验报告
学生：武晓忠
**：6
指导教师：王海波
【摘要】本实验意在通过利用DM-450型真空镀膜机镀膜，采用λ/4法进展控制，熟悉抽真空______ǠϨϨ________________ 膜系。我们用字母的排列“GHLH…〞表示膜系的情况，其中，H、L
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分别代表光学厚度为 _ _ ⁡〖_〗_D_D的膜系，，该层对应的特征矩阵为
〔18〕
〔19〕
假设则，R为极大值，这样的 __D_D，则，R为极小值，这样的〖〗^
2、窄带全介质干预滤光片
1〕膜系构造
窄带全介质干预滤光片的典型膜系为。其中是多层高反射率膜的堆，j为HL的重复周期，其中2H为间隔层。着重法布里-珀罗型膜系对控制波长而言，2H间隔层形同虚设，并且2H层两侧一一对应的2L层或者2H层也逐级看做虚设。所以，它们对控制有极大的透过率值，而其他波长则均低于此值，甚至透过率为零。
应该指出，对控制波长，间隔层的光学厚度 _ _/_/ (
〔20〕
2〕干预滤光片的带宽
法布里-珀罗干预仪的投射光强度公式
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〔21〕
其中R是反射的反射率。为间隔层厚度对应的相位因子，为投射光强度。对法布里-珀罗型滤光片，当时，为极大。假设波长 ___ D_Dd_
〔22〕
对窄带滤光片，相位差很小，所以很小，。令
(23)
得到
(24)
假设对应的波长变化为，则
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(25)
一般定义通带半带宽
(26)
可见，对给定峰值波长，R越大，越小；干预级m越大，越小。
3、膜厚的监控
准确的控制每一层膜的厚度是制备多层介质膜的关键。一般膜层厚度的允许的误差最好小于2%，偶尔允许到5%.本实验采用极值法进展膜厚控制。当膜层的光学厚度为的整数倍时，薄膜的透射率或反射率出现极值，即薄膜的透射率和反射率随膜厚呈周期性变化。选定控制波长后，将通过监控片的光信号探测器承受，再放大显示出来。电信号从每一个极大到极小所对应的厚度变化为。
三、实验容
实验设备如图6，其操作原理电子枪蒸发源加热使得H〔硫化锌ZnSnh=〕L(冰晶石 Na3AlF6)的材料分别挥发到了基片上冷凝附着，，经过基片，与基片外表上的膜发生干预作用，透过的光强有所改变，当薄膜厚度在1/4波长时有极值出现，表现为光强的大小有极值。在通过反射镜，放射至单色仪上，单色仪别离掉其他光束〔〕再经过光电倍增管，把光信号转化为电信号，并于膜厚控制仪上显示。当出现极值时，也就是1/4波长出现的时刻。此时换L和H的镀膜。
1、滤光片的镀制
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用干净的布片和有机溶剂基片进展清洁处理。将真空室放气后，用吸尘器清理钟罩部，在钼舟填装待蒸发膜料，记录下各个舟的膜料名称。并在基片架上安放基片，勿使基片倾斜。落下钟罩，按镀膜机操作规程对真空室进展抽真空。当真空度到达 _____________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________岢_岦_恄_恆_恈_恌_悔_悖_悘_悜_悞_悠_惨_惪_惬_惰_愸_愺_愼_慀_憈_憊_憌_憐_懘_懚_懜_懠_戨_
镀膜完毕后，依镀膜机操作规程停顿加热和抽真空。半小时后，方可对镀膜机真空室充气，取出所镀制的干预滤光片。然后按操作规程再对镀膜机抽真空，以保持清洁，最后停机。
-450型镀膜机钟罩部构建及监控光路示意图
附：镀膜方案：
2、光学镀膜的测量
测量在TU-1221双光束紫外线和可见光光度计上进展，直接测量曲线，从曲线上求出介质干预率滤光片的三个主要参数、、。
光光度计的工作原理如下：乌灯或氘灯发出的光经过、和准直后照射到光栅G上，G衍射的光经过、、和后由斩光器C分成两路：一路是、R和组成的参考光路，另一路是、S、和，样品S放在此光路中。这两路光强由光电倍增管交替接收，并进展强度比拟，由此得