文档介绍：PNP 双极型晶体管课程设计 pnp 双极型晶体管课程设计学生姓名馥语甄心目录 1. 设计任务及目标......................................................................P1 2. 概述-发展现状......................................................................P1 3. 设计思路................................... ..............................................P2 4. 各材料参数和结构参数的设计...............................................P2 原材料的选择....................................................................................P2 各区掺杂浓度和相关参数的计算................ ....................................P4 集电区厚度 Wc 的选择.....................................................................P5 基区宽度 WB 的选择........................................................................P7 扩散结深及发射区面积、基区面积的确定........... .........................P7 5. 工艺参数设计.........................................................................P8 硅片氧化相关参数............................................................................P8 基区扩散相关参数.............................. ..............................................P9 发射区扩散相关参数......................................................................P10 6. 刻画掩模板.............................................................................P12 基区掩模板........... .............................................................................P12 发射区掩模板....................................................................................P12 金属引线掩模板........................................................... .....................P13 设计参数总结....................................................................................P14 7. 工艺步骤.................................................................................P14 清洗......................... ...........................................................................P15 氧化工艺............................................................................................P15 光刻工艺.......................................................... .............