文档介绍：南光镀膜机说明书
该机用于半导体组件及光学件生产和研究是比较理想的设备，在极限真空，防止油 污和缩短工作等方面都具有较好的性能，它用于单层光学薄膜和生产也是比较理 想的设备.
,220V/380V,50H南光镀膜机说明书
该机用于半导体组件及光学件生产和研究是比较理想的设备，在极限真空，防止油 污和缩短工作等方面都具有较好的性能，它用于单层光学薄膜和生产也是比较理 想的设备.
,220V/380V, 地电阻小于4欧，接地导线截面积大于等于10mm2 .气压:
主要技术性能：（一） 种泵，，真空，取件三个 按钮的动作可分别执行开机/停机，真空/中止真空，取件/取件关程序.（1） 下开机钮,设备将按下列步骤运行:开机械泵，截放阀延时10秒开预阀，延时30秒 ，设备将按下列步骤停机:关扩散泵冷却延时1小时，关 预阀延时5秒关机械泵，截放阀.
（2）.在执行开机程序以后a按下真空钮设备将按下列步骤运行：开低级阀，低真 空信号到，关低阀延时3秒开预阀,再延时3秒开高阀，， 设备将回到开机状态.（3）a在执和行真空程序之后，当按下取件钮,关高阀并延时 ，在真空室门已关好之后，设备将自动回到真空 程序运行.（4）.通过在真空程序执行后，反复使用取件钮，可达到真空，取件的连续 过程.（二）.工转及比较片转动系统：工转控制采用直流调速器对工件电机进行调 速，.（三）.烘烤系统:本系 统采用三（单）相调功器（移相或过零触发）和进口数显温控仪对工件进行烘烤，温 度可控可调,设定好温度后，参照温控仪说明书，采用自整定运行，自整定运行结速 后进行恒温控制（第一次自整定温度会出现过冲现象，自整定运行结束后再开机， 就不会出现过冲，用户可根据不同的温度要求全部进行自整定1次.）
NG-3型电子束蒸发源电源装置包括X-Y磁偏转扫描单元，枪灯丝及束流控制单元， 高压自动控制装置，坩蜗转动控制装置及手持控制盒.
工作条件：:总功率约为10KW,220V/380V,50HZ; 阻小于4欧，接地导线截面积大于等于10mm2. 件.
主要技术性能：-Y磁偏转扫描单元具有波形可选，频率可调之特点.（1）. 偏转（或称位移）电流：（在4-7欧负载上）IX=0- IY=0-± （2）.扫描波 形:矩形波,三角形，正玄波任选.（3）.扫描电流:IX=IX± IY=IY± （4）. 扫描频率：1-20HZ可调.（5）.失偏保护（只对X线圈而言）：， 电源输出一对常开触点,可用以联锁直流高压或其它用途的控制.
：（1）.接上枪灯丝，-3Pa时，灯丝变压器原边:U〜 约等于0~200V I~约等于0~ （2）.