文档介绍：: .
常运行和事故情况下，风
管内爆炸危险的气体和粉尘的浓度不大于爆炸
下限的 20%计；
8 排除有爆炸危险的气体和粉尘的局部排风
系统，应设置消除静电的接地装置。
对排风系统中含有毒性、爆炸危险性物质
的排气管路，应保持相对于路由区域一定的负压
值。
洁净室（区）事故排风系统的设计，应符
合下列规定：
1 事故排风区域的换气次数不应小于 12 次
/h；
2 应设置自动和手动控制开关、手动控制开
关应分别设置在洁净室（区）和洁净室（区）外
便于操作的地点；
3 应设置应急电源。
洁净厂房中的疏散走廊，应设置机械排烟
设施。
净化空调系统的风管的防火阀的设置，应
符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》 GB
50073 的有关规定。含有可燃、有毒气体或化学品的排风管道，
不得设置熔片式防火阀。

2 排烟系统的风管应采用不燃材料制作；
3 附件、保温材料和消声材料等均应采用不
燃材料或难燃材料。
生产、生活排水系统应分别设置。生产排
水系统应根据电子产品生产设备排出的废水性
质、污染物浓度和水量等特点确定。有害废水应
经废水处理达到国家或地方排放标准后排放。
洁净室（区）内与电子产品生产设备相连
接的重力排水管道，应在排出口以下部位设置水
封装置。排水系统应有完善的通气系统。
洁净厂房必须设置消防给水系统。消防给
水系统的设置应符合现行国家标准《建筑设计防
火规范》GB 50016 的有关规定。

1 洁净室（区）的生产层及上下技术夹层（不
含不通行的技术夹层），应设置室内消火栓；

3 存放可燃气体钢瓶的特气柜中应设置自动
灭火设施。
3 不循环支管的长度不应大于管径的 6 倍；
4 干管应设置清洗口；
5 管道系统必须密封，不得有渗气现象；
洁净室（区）内的可燃气体管道和有毒
气体管道应明敷，穿过洁净室（区）的墙壁或楼
板处的管段应设置套管，套管内的管道不得有焊
缝，套管与管道之间应采取密封措施。
可燃气体管道和有毒气体管道不得穿过
不使用此类气体的房间；当必须穿过时应设套管
或双层管。

2 不得出现不易吹除的“盲管”等死空间；
3 管道系统应设置吹扫口和取样口。

1 可燃气体管道设置阀门时应设置阀门箱，阀
门箱应设置气体泄漏报警和事故排风装，报警装
置应与相应的事故排风机联锁；
3 引至室外的放散管，应设置防雷保护设施；
4 应设置导除静电的接地设施。
气体纯化间（站）或气体入口室内，设
有氢气等可燃气体纯化装置或管道时，气体纯化间（站）或气体入口室的火灾危险性应按甲类确
定，并应符合下列规定：
1 应靠外墙设置，并应设置防爆泄压设施；
2 氢气等可燃气体引入管道上应设置自动
切断阀；
3 应具有良好的自然通风，并应设置事故排
风装置；
4 应设置气体泄漏报警装置，并应与事故排
风装置联锁；
5 应设置导除静电的接地设施。
洁净厂房内的氧气管道等，应采取下列
安全技术措施：
1 管道及阀门附件应经严格的脱脂处理；
2 应设置导除静电的接地设施；
3 氧气引入管道上应设置自动切断阀。
洁净厂房内的特种气体的储存分配间应
采用耐火极限不低于不燃烧体的隔墙与洁
净室（区）分隔，隔墙上的门窗应为甲级防火门
窗。

1 特种气体钢瓶（含硅烷或硅烷混合物）应
设置在具有连续机械排风的特气柜中；2 排风机、泄漏报警、自动切断阀均应设置
应急电源；
3 一个特气分配系统供多台生产设备使用
时，应设置多路阀门箱；
硅烷或硅烷混合物的气瓶应存放在洁净
厂房建筑外的储存区内。储存区的设置应符合下
列规定：
1 储存区应至少三面敞开，气瓶应固定在钢
制框架上；
2 气瓶或气瓶组与周围的构筑物或围栏的