文档介绍：第二篇半导体工艺及器件仿真软件Silvaco操作指南
主要介绍了半导体器件及工艺仿真软件Silvaco的基本使用。书中通过例程引导学****工艺仿真模块Athena和器件仿真模块Atlas,通过这两部分的学****可以使学****人员深入了解半导体物理的基本知识,半导体工艺的流程,以及晶体管原理的基本原理,设计过程,器件的特性。对于学****集成电路的制备及后道工序有一定的帮助。
第一章 SILVACO软件介绍 25
25
选择一个应用程序例子 26
工艺模拟 28
运行一次模拟 28
渐进学****模拟 28
绘制结构 28
使用Tonyplot进行绘图 29
修正绘图的外观 29
缩放及在图上进行平移 30
打印图形 31
使用History功能 31
明确存贮状态 32
32
存贮文件创建 32
文件交叠 33
运行MOS工艺程序的第二部分 35
`Stop At' 功能 35
使用Tonyplot用于2-D结构 36
使用Tonyplot来制备一轮廓图 37
产生交互式图例 38
工艺参数的抽取 39
源漏结深 40
器件阈值电压 40
电导及偏压曲线 40
一些薄层电阻 42
沟道表面掺杂浓度 42
器件模拟 44
器件模拟界面工艺 44
建立器件模拟 44
执行器件模拟 45
抽取器件参数 45
第二章电阻仿真及阻值抽取 46
第三章扩散二极管仿真 56
硼扩散 56
进行mesh的实验 61
绘制杂质掺杂轮廓曲线 62
查看抽取结果 63
第四章 NMOS电学特性仿真 65
NMOS例子加载 65
Tonyplot操作 66
查看电学仿真结果 70
第五章工艺流程的横断面观察 73
73
氧化层屏蔽 73
NWELL 注入 74
PWELL 注入 74
场氧化层生长 75
阱推进 76
第一章 Silvaco软件介绍
本章将介绍下面两个VWF(虚拟wafer制备)交互工具的基本使用:
Deckbuild:VWF运行时控制应用程序。这是唯一一个从系统命令行由用户启动的程序。
Tonyplot:VWF可视化应用程序。
VWF交互工具还包括版图到工艺的界面程序MaskViews, 器件原型及编辑程序 DevEdit,局部优化程序Optimizer 以及统计分析的SPAYN工具。但本章不介绍这部分内容。VWF核心工具是以下两个仿真器:
Athena, Silvaco的高级一维和二维工艺仿真器。
Atlas, Silvaco的通用及标准组件的一,二,三级器件仿真器。
VWF核心工具还包括器件特性的UTMOS应用及SmartSpice电路仿真。
本章将学****br/>使用 Athena进行一个简单LDD MOS器件仿真和相关参数的抽取(如栅氧化层厚)。
2. 使用Atlas进行LDD MOS器件仿真,产生一个Id/Vgs 曲线并从这条曲线中进行器件参数Vt,Beta和Theta 的抽取。
要启动Deckbuild程序,在系统命令行中输入
deckbuild &
几秒钟后Deckbuild窗口显示出来。在Deckbuild启动后,你会看到如下的窗口(版本及目录名可能不相同):
Deckbuild程序窗口组成如下:
上面的文本窗口区用来保持仿真器的输入。
下面的tty 区显示仿真器的输出。 Athena 仿真是缺省启动的。你会看到,在这个区中有一短的Athena文件头输出,指出你可用的许可产品。之后跟随Athena提示符。
ATHENA>
在窗口上部是软件控制菜单的集合。
在文本区及tty区之前是仿真器控制按钮的集合。
下一步是创建一个设计,可以从草图创建,或者选择一个应用例子进行修改。输入的程序显示在上面的文本区中,而且执行时使用仿真控制按钮就会它传到下面的tty区。
选择一个应用程序例子
Deckbuild 包括大量的仿真例子可以用于仿真。这个练****使用其中之一。当Deckbuild启动后,examples menu会被激活。在 Deckbuild的`Main Control'菜单有一个选择项称为`Example