文档介绍：2015年第36期
（总第351期）膜，这为以柔性材料为衬底生产曲
简单且操作调节方便，此法对制备高质量的氧化物薄膜面显示器奠定了理论基础。
更有效，采用纯金属合金做靶材制备出薄膜的金属成分　Al掺杂对结构性能的影响
接近于靶材，且纯金属靶材比金属氧化物陶瓷靶材制作刘耀东以锌铝合金为靶材采用PLD法以石英玻璃为基
工艺简单而且便宜，由于激光作用下产生的等离子体能体沉积AZO薄膜，得到光电性能良好的透明导电薄膜。
量较高，能在较低的基体温度或室温下沉积出AZO薄膜。由图1可见，纯ZnO薄膜具有明显的（002）择优取向。
文献报道PLD法多用准分子激光器作激光源，刘耀东等采随着薄膜中Al的质量分数增加，（002）衍射峰减弱、
用Nd：YAG型脉冲激光器（价钱便宜）制备出了高质量的（101）衍射峰增强，表明AZO薄膜的（002）取向逐渐
AZO薄膜。减弱而趋向于各向同性。%时，
件、机械的选购还是安装和平时的维护，都需要我们引济性能影响的分析方法[J]．汽轮机技术，2001，（3）.
起注意。目前，由于对于机械效率要求的提高，在汽轮 [3]　邓德兵，赵清森，陈伟，刘刚．核电站汽轮机运行性
机稳定运行的方面要求有所降低。但是，我们一定要注能监测与诊断[J]．动力工程学报，2011，（8）．
意两者的平衡，保障发电厂安全生产，稳定供电。 [4]　许峰，樊永江，赵振刚．有关电厂汽轮机运行中节能
降耗的对策研究[J]．科技传播，2012，（22）．
参考文献
作者简介：姜微（1988-），男，黑龙江双鸭山人，供职
[1]　方守印，杨成宝．汽轮机低压排汽缸排汽压力的变化
于神华国能宝清煤电化有限公司