文档介绍：半导体工厂超纯水简报pptx
总流程
原水
(中央动力厂房)。CUB是半导体工厂的心脏，制程用的水电空调化学品等一般都是从这里半导体工厂超纯水简报pptx
总流程
原水
(中央动力厂房)。CUB是半导体工厂的心脏，制程用的水电空调化学品等一般都是从这里输出。
运行参数：原水一般水量为195m³/h，最大水量为250m³/h，水压3bar。
多介质过滤器(MMF/砂滤）
%NaOCl后通过热交换器再次加10%PAC后进入多介质过滤器。
。
，定期反洗。
用途：主要去除不能溶解的悬浮颗粒和胶体杂物。
运行参数：产水量最大为250m³/h，，温度20-20℃。
玻璃钢水箱(FRP水箱)
。
（每组两台），一组用于反清洗，一组用于给ACF活性炭过滤器供水。
，桶高5m。
运行参数：出口压力为7bar，温度为20-30℃。
迈博瑞生物膜技术南通有限公司
活性炭过滤器(ACF/碳滤）
，内部填充颗粒活性炭。
，正反洗水都回收至废水池，产水为过滤水。
用途：再次处理水中不能溶解的悬浮颗粒和胶体杂物。
运行参数：产水量为200-260m³/h，出口压力为6bar，温度20-30℃。
阴阳离子交换床
（阴离子桶）加HCl，后AIX（阴离子桶）加NaOH处理，CIX和AIX 可以单独运行。
用途：处理水中的阴阳离子。
，再生水进入废水池，出水为去离子水。
运行参数：产水量为207m³/h，压力为3bar，温度为20-30℃。
保安过滤器(SFL)
%NaOH后进入保安过滤器。
。
用途：微滤过滤器保护后端RO膜，不达标的水质和频繁清洗都会影响RO膜的寿命、提升成本。
运行参数：280m³/h，，温度21-30℃。
反渗透过滤膜（RO膜）
。
，不达标产水进入过滤水箱，浓水进入废水池。
。
运行参数：产水水量为248m³/h，出水压力为2bar，温度为21-30℃；浓水水量为18m³/h，出水压力为2bar，温度为24-30℃。
RO水箱
，并使用氮气密封。
，一组UV供水，一组阴阳离子交换床冲洗水，一组冷凝设备供水。
运行参数：产水水量为185m³/h，出口为6bar，温度21-30℃。
迈博瑞生物膜技术南通有限公司
紫外线杀菌设备（UV装置）
，一用一备，单组使用44跟紫外灯管。
。
用途：杀灭水中的微生物，降低有机物含量。
运行参数：产水水量为185m³/h，，操作温度26℃。
初级混床（MBX混床）
。
用途：全面去除水中的阴阳离子，电阻率由4mΩ/cm提升至17-18mΩ/cm。
，使用HCl和NaOH。
，冲洗水进入过滤水箱，产水为纯水。
运行参数：产水量为185m³/h，出口压力为4bar，温度23-30℃。
脱气膜(MD)
。
，气体由下向上抽出，主要气体为CO2和N2。
。
运行参数：产水水量为180m³/h，，温度为21-30℃。
迈博瑞生物膜技术南通有限公司
纯水水箱
，内衬PP，氮封。
，输出水为纯水。
运行参数：产水水量为230m³/h，，温度为22-30℃。
冷交换器
，温度降低为5℃。
，进入UV装置。
运行参数：产水水量为230m³/h，。
迈博瑞生物膜技术南通有限公司
UV装置
，每组44根灯管。
。
℃环境中。
用途：再次杀灭水中细菌，降低有机物含量。
运行参数：产水量为230m³/h，。
抛光混床（MBP）
，使用完后不需要再生。
，进入超