文档介绍：洁净室检测洁净室检测报告
洁净室检测篇一:洁净室各项目检测方法总结
高效过滤器检漏
一、说明
过滤网的泄漏测试应当是无尘室测试中,最复杂、最耗时间的测量项目。泄漏测试的目的,是要确认:
滤网的材料无破损,
安装恰当。
滤网出洁净室检测洁净室检测报告
洁净室检测篇一:洁净室各项目检测方法总结
高效过滤器检漏
一、说明
过滤网的泄漏测试应当是无尘室测试中,最复杂、最耗时间的测量项目。泄漏测试的目的,是要确认:
滤网的材料无破损,
安装恰当。
滤网出厂前当然要经过泄漏测试,但是在搬运与安装过程难保完全无损,而且滤网的重要性又大于一切,因此安装完毕都要做一次扫描,以确认滤材无任何泄漏。另外,若是安装不恰当,微粒会从边框漏进无尘室风口。就算是FFU系统,天花板上是负压,若是边框机有微粒日后仍旧会产生问题。因此,边框扫描一样重要。滤网泄漏测试基本上是上游的颗粒,然后在滤网下表面与边框用微粒探测仪器搜寻有无泄漏。泄漏测试有几种不同的方式,适用在不同的场合。
测试方式有:
,,,。后两种现在使用非常少。
二、方法
气溶胶光度计测试法
气胶光度计测试法是最早期的测试方式,但是因为效果非常好,到今
天仍旧沿用。气胶光度计(AerosolPhotometer)是微粒计数器的一种,也是使用雷射科技,但是它在扫描空气样本的微粒之后,所给的是微粒的总体强度,不是微粒数目。DOP是一种油性化学物质,现改用PAO,加压或加热雾化之后,可以产生次微米等级的微粒,可用来模拟无尘室的微粒,因此被当成验证微粒。微粒计数器测试法
半导体业方面,早期也是使用DOP/PAO与气胶光度计,但是随着制造精密度增加,油性挑战微粒逐渐不容许在无尘室使用,因此出现使用干式灰尘当成挑战微粒,在上游施放,然后用微粒计数器在下游扫描,寻找泄漏,基本概念完全相同。经过科学家一步步研究结果,发现PSL因为微粒的粒径与浓度可以控制,因此是目前最广为使用的标准微粒。使用时只要把PSL溶液雾化,导入滤网上游即可
PAO/DOP过滤器检漏
说明
气胶光度计测试法是最早期的测试方式,但是因为效果非常好,到今天仍旧沿用。气胶光度计(AerosolPhotometer)是微粒计数器的一种,也是使用雷射科技,但是它在扫描空气样本的微粒之后,所给的是微粒的总体强度,不是微粒数目。DOP是一种油性化学物质,加压或加热雾化之后,可以产生次微米等级的微粒,可用来仿真无尘室的微粒,因此被当成验证微粒。
1泄漏的定义是泄漏出上游浓度万分之一,由于气胶光度计可以直接显示上下游微粒浓度的比值,因此扫描滤网非常方便。也正因其准确、可靠,美国食品与药品管制局(FDA)规定,在其管辖范围内(食品加工场所与医疗制药场所),所有的滤网泄漏测试必须使用DOP与气胶光度计。近年来由于人们怀疑
DOP会导致癌症,因此多改用PAO。PAO和DOP的特性类似,使用上无多大差异。
测试仪器
1本测试法使用仪器为气胶光度计(AerosolPhotometer)与微粒产生器(AerosolGenerator)。气胶光度计的显示版有模拟与数字两种,每年必须校正一次。微粒产生器有两种,一种是普通的微粒产生器,只要求高压空气,另一种是加热型微粒产生器,要高压空气和电源,微粒产生器不需要校正。
测试方式
滤网泄漏测试的步骤,大致上是施放微粒并检查浓度、滤网与边框扫描以发现泄漏、更换或修补、重测,其步骤说明如下
在图面上记录滤网数量并编号。
确定空调系统正常运转并可供测试,风速与风量必需调整平衡完毕。
使用气胶产生器在上游施放挑战微粒,将PAO打入滤网上游,微粒浓度是大约每公升空气含有10到20微克的PAO。微粒愈多愈容易找出泄漏,但是超过50微克以后差别不大,少于10则很难使用。微粒浓度可用风量粗略计算,再用气胶光度计确认。
上游微粒浓度确认后,就可以在滤网表面扫描,寻找泄漏,必要时滤网四周可用塑料帘覆盖以确保测试之准确
在滤网表面扫描,扫描之路径可由外而内或沿长/短边迂回检测.
洁净度测试
一、说明
洁净度测试是无尘室性能测试的核心,气流测试、压力测试,与泄漏测试,都只在确认无尘室的洁净度不受外来影响,因此洁净度测试都放在前述几项测试都通过之后。洁净度测试完毕,与落尘有关的性能因素就都测试完毕,其它测试对洁净度影响不大,或是属于其它环境测试。
二、测试仪器
洁净度测试使用微粒计数器,仪器须经校正合格且仍在有效期限内,交附报告时须附合格之校正文件。微粒计数器有不同规格,最常见的是流量1cfm,,单位多是立方英叭。至于应使用何种设备,要依业主的规范而定。一般在产业