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学位论文作者:症§骿学位论文作者:誓否,五日期:纠晁暝/日原创性声明学位论文使用授权声明日期:.甧年岁月本人郑重卢明:所呈交的学位论文,是本人在导师的指导下,独立进行研究所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外,本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的科研成果。对本文的研究作出重要贡献的个人和集体,均已在文中以明确方式标明。本声明的法律责任由本人承担。本人在导师指导下完成的论文及相关的职务作品,知识产权归属郑州人学。根据郑州大学有关保留、使用学位论文的规定,同意学校保留或向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版,允许论文被查阅和借阅;本人授权郑州人学可以将本学位论文的全部或部分编入有关数据库进行检索,可以采用影印、缩印或者其他复制手段保存论文和汇编本学位论文。本人离校后发表、使用学位论文或与该学位论文直接相关的学术论文或成果时,第一署名单位仍然为郑州大学。保密论文在解密后应遵守此规定。
要摘氮化钛是由离子键、共价键和金属键混合组成的一种宽禁带半导体材料,它的结构决定了其优异的性能,如耐高温、耐腐蚀、硬度高、化学稳定性好等,主要应用于工业、装饰业以及电子行业等。其主要光学性能有两点:近红外区的高反射和可见光区的半透明,这种性能符合低辐射节能玻璃的性能要求,所以研究氮化钛的光电性能具有重要意义。氮化钛的制备方法多种多样,如化学气相沉积、离子镀、溅射镀等。本文采用传统的直流磁控溅射法以及改进的能量过滤磁控溅射技术两种方法对氮化钛薄膜的光电性能做了研究,主要分为两部分一在玻璃衬底上镀制了氮化钛薄膜,研究了温度、氮氩比和压强对薄膜光电性能的影响,得到最佳制备工艺参数。露榷员∧す獾缧阅艿挠跋欤貉芯拷峁砻鳎孀盼露鹊纳撸∧的透过率和近红外反射率都有所提高,而且高温下薄膜结晶度好,电阻率减小;k脖榷员∧す獾缧阅艿挠跋欤核孀诺k脖鹊募跣。∧さ耐腹视所下降,氮气含量的减少使得薄膜中钛的含量增大,薄膜的自由载流子增多,以至于电阻率下降;骨慷员∧す獾缧阅艿挠跋欤核孀叛骨康脑龃螅捎诜从ζ逑嗷ヅ撞的增加,导致钛到达衬底表面的动能减少,沉积速率下降,最终导致薄膜的透过率增加,但是反射率和电阻、厚度减小。二采用改进的装置,即能量过滤磁控溅射技术,对薄膜的光电性能做了研究。能量过滤磁控溅射技术对薄膜光电性能的影响:实验结果表明,采用能量过滤磁控溅射由于减小了离子对衬底表面的轰击作用,改善了薄膜表面粗糙度,也使得薄膜更致密、晶粒细化、缺陷减少,提高了薄膜的光学性能。关键词:磁控溅射,∧ぃ庋阅
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目录摘要⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.目录⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..髀邸;驯∧さ闹票负托阅鼙碚鳌引言⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.节能镀膜玻璃的种类和研究现状⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..节能镀膜玻璃的理论基础⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.氮化钛薄膜的研究现状和基本性质⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..本课题的研究意义及研究内容⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..氮化钛薄膜的制备方法⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.氮化钛薄膜的制备过程⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯......................................................................;驯∧さ难芯肯肿础.;驯∧Ⅳ
ひ詹问员∧ば阅艿挠跋臁芰抗舜趴亟ι浼际醵缘;驯∧ば阅艿挠跋臁氮化钛薄膜的性能表征⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.能量过滤磁控溅射技术的介绍⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..衬底温度对薄膜性能的研究⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..氮氩比对薄膜性能的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..压强对薄膜性能的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.本章小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯能量过滤磁控溅射技术对氮化钛薄膜性能的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯...∧∧∧∧∧∧∧∧さ缱杪实挠跋臁k脖榷员