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用作OLED场发射阴极的金刚石薄膜的制备.pdf

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用作OLED场发射阴极的金刚石薄膜的制备.pdf

上传人:779277932 2012/2/8 文件大小:0 KB

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寝卿嘶学位论文使用授权声明闟月日原创性声明甓嘣拢籎日日期:本人郑重声明:所呈交的学位论文,是本人在导师的指导下,独立进行研究所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外,本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的科研成果。对本文的研究作出重要贡献的个人和集体,均已在文中以明确方式标明。本声明的法律责任由本人承担。学位论文作者:本人在导师指导下完成的论文及相关的职务作品,知识产权归属郑州大学。根据郑州大学有关保留、使用学位论文的规定,同意学校保留或向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版,允许论文被查阅和借阅;本人授权郑州大学可以将本学位论文的全部或部分编入有关数据库进行检索,可以采用影印、缩印或者其他复制手段保存论文和汇编本学位论文。本人离校后发表、使用学位论文或与该学位论文直接相关的学术论文或成果时,第一署名单位仍然为郑州大学。保密论文在解密后应遵守此规定。日期:汐
要摘导,采用新的阴极材料一场发射薄膜,作为有机电致发光器件的阴极,使场致发射出来的电子以一种强制的方式注入到有机层。与己报道的场发射一有机电有机电致发光器件因其诸多优点,成为近几年研究的热点,并有望成为下一代显示器的主角。但其在实际应用中还是存在一些问题,如效率问题、稳定问题和寿命问题,这三大问题强烈制约着有机电致发光器件的实用化进程。本课题主要是针对电子注入效率低引起的载流子复合不平衡,最终影响器件的发光效率这一问题,而进行的研究工作,主要目的就是提高器件的电子注入效率。传统的阴极修饰法是侧重降低电极和有机层之间的势垒来提高电子的注入效率,是一种被动措施。本课题创新之处在于以场发射和有机电致发光理论为指致发光器件结构不同,我们所做器件的创新之处在于:直接在场发射阴极上制备有机电致发光器件,避免了使用真空结构。金刚石薄膜是宽带隙半导体,且具有负的电子亲和势,有利于电子的场发射,并能用ɑ竦么竺婊粱晕颐茄∮媒鸶帐∧ぷ魑3》⑸湟跫ā因为要在金刚石薄膜上直接蒸镀有机层,所以金刚石薄膜要具有很好的平整度。本文利用微波等离子体化学气相沉积法制备金刚石薄膜,通过改变沉积参数制备出具有不同形貌的金刚石膜,通过对其表面平整度和场发射性能进行评价,找出适合用作场发射阴极的金刚石膜。具体工作主要有:牡自ご矶越鸶帐∧どで榭龅挠跋欤翰捎帽砻嫒毕莘ɡ刺岣呓鸶石的形核率,采用不同粒度的金刚石研磨膏机械研磨衬底,对比不同衬底上金刚石膜生长情况,发现用金刚石研磨膏预处理后的衬底生长的金刚石膜形核密度较高,能连续成膜。煌蚊步鸶帐∧さ闹票福焊谋涑粱问票赋鼍哂辛⒎教濉⒄面形、球形和三角锥形形结构的金刚石膜。分析了各种晶形的形成机理,并对其中薄膜质量较好的样品进行了场发射测试,其中具有三角锥形结构的金刚石薄膜的场发射性能最好。擅捉鸶帐∧さ闹票福褐票赋霰砻嫫秸哪擅捉鸶帐ぃ云浣谐发射测试,此薄膜的开启电场为痝。钡缌髅芏却锏摘要/
滦推茨擅捉鸶帐∧さ闹票福涸诟呒淄榕ǘ认轮票赋銎茨擅捉鸶帐膜,这种结构的金刚石膜因其独特的表面形貌而具有很高的场增强因子,使这种纳米金刚石膜在痷牡绯∠碌牡缌髅芏却锏搅/5图淄榕度下,较高的等离子体密度也可以促使片状纳米金刚石的生成,并能使片状纳米金刚石产生分型。谢缰路⒐馄骷闹票福憾员雀髦纸鸶帐さ奶匦裕≡裼镁哂腥锥结构的金刚石膜和纳米金刚石薄膜作为有机电致发光器件的阴极,制备了结构为疉疶/的器件,测试了器件的甐特性,其中用纳米金刚石薄膜作为阴极的器件的最高电流密度可达//,与不加修饰的传统玻璃衬底的金属阴极器件的啾扔邢灾岣摺关键词:微波等离子体化学气相沉积,金刚石薄膜,纳米金刚石薄膜,场发射性能,表面平整度,有机电致发光器件摘要
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