文档介绍：中文摘要生产的催化燃烧式气体传感器采用传统手工绕线、涂覆工艺,生产的器件存在一致性差、匹配性不好的缺点。本论文通过技术和平面金属薄膜技术完成催化燃烧式气体传感器制作,主要研究计算机有限元结构设计、气体敏感材料合成、掺杂修饰改性技术、微加工工艺、测试系统的研究及传感器性能测试等内容。.本论文首先从传感器的关键部件——微热板结构设计进行研究,对传感器进行材料优化选择,确定微热板材料厚度及电极图形结构尺寸,实现降低器件功耗的目的。其次,利用有限元热电耦合分析微结构气体传感器及带有引线的情况,搭建传感器测试系统,室温工作状态下,系统研究微结构气体传感器的性能及数据处理。试验结果表明,煤油气体传感器的最佳测试范围为,传微结构催化燃烧式气体传感器广泛应用于化工、石油、冶金、制药、能源、煤矿等领域,已成为各种可燃性危化品生产、运输、存储及使用等安全监控的有本论文主要研究针对危化品可燃性气体检测设计的微结构气体传感器。目前并对微热板的加热电压与热场分布进行仿真。感器的迟滞为馗葱晕.%甋,线性度为既范任效工具。关键词:技术;有限元分析;催化剂;气体传感器
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录目中文摘要⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。本章小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.第麓呋忌帐矫河痛ǜ衅鞯牟牧嫌呕基底材料选择的对比优化⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。课题背景及来源⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯:⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.气体传感器的定义与分类⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.宕ǜ衅鳌微结构气体传感器的应用⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯微结构气体传感器的研究进展⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.甀催化燃烧式机理⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯加热敏感电极材料⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯催化载体的选择⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯,催化剂的选择⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯本章小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。第麓ǜ衅鞯慕峁股杓萍澳D夥抡妗微结构气体传感器的结构设计⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.烈咨螾∧と让舻缱璧娜范ā⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..⋯⋯⋯⋯..
.煌本兜腜恐С诺恼板的热场分布仿真⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯第挛⒔峁蛊宕ǜ衅鞯闹谱鞴ひ铡薄膜技术⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯光刻与刻蚀工艺⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.催化敏感元件动态配对工艺⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.舾心さ闹票讣巴糠蟆本章小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯邢拊H确治觥邢拊N⑷劝迦鹊珩詈戏治觥薄膜热敏电阻版图设计⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.缀穸鹊娜范ā宓娜瘸》⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。补偿元件对催化元件输出特性的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯本章小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..嗟砘ひ铡微结构气体传感器的制作⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.薄膜热敏电阻的制作⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.<附印⒗匣白芭洹气体传感器信号检测原理⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.微结构气体传感器封装工艺⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.第麓ǜ衅鞑馐韵低车慕⒓靶阅懿馐浴煤油标准气发生装置的研究⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..传感器的信号处理技术研究⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。⋯...⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.带有信号调理电路的煤油传感器的性能测试⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.....
.⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯参考文献⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯攻读硕士学位期间所发表的学术论文⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.独创性声明⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯“.⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.致谢⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.目录