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基于0.18umCMOS集成压力传感器设计.pdf

上传人:779277932 2012/2/8 文件大小:0 KB

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基于0.18umCMOS集成压力传感器设计.pdf

文档介绍

文档介绍:温度系数为叭。同时利用共源共栅管的屏蔽特性改进了基准电流的镜像电中文摘要本文提出了一种融合了技术和集成电路技术的新型骞苁郊模抑制和电源抑制能力,,达到了对传感器输出信号直接处理的目的。同时采用模拟集成电路设计中常用偏置技术,带隙基准原理,完成了对带有信号处理功能的传感器供电电路的设计,仿真结果显示带隙基准电压源温度在一一段诒浠保嫉缪刮露认凳鑫’从而提高了传感器的精度,进一步解决了温漂问题。并给出了各电路模块版图的关键词;骞苁窖沽Υǜ衅鳎荒D饧傻缏飞杓疲话嫱忌杓压力传感器。在基于盏幕∩希杓芃晶体管式压力传感器,利用计算机仿真模拟了传感器敏感膜片的应力分布情况,得到了输出电压随外界压力的变化规律并得到传感器满量程输出电压为:I杓仆瓿闪郊豆源共栅运算放大器,仿真结果显示该运放开环增益可达本哂薪细叩墓妗5缜诺缏泛懔髟次露却右变化时,电流变化小于,路,使给电阻电桥供电的恒流源电流在相同温度范围内变化仅为。设计结果。
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目录课题研究的背景及意义⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.硅微机械压力传感器的发展及应用⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.硅微机械压力传感器国内外发展现状⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.硅微机械压力传感器的应用⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一硅微机械压力传感器发展趋势⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯本课题研究内容⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.第二章基于技术的压力传感器⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..单轴应力下压阻效应⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯第一章绪论技术在传感器中的应用⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯技术与技术的主要不同⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。半导体的压阻效应⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.流体静压力对晶体电导率的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一任意晶向的压阻系数⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯电阻率的变化与压阻系数和应力之间的关系⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯骞艿纳杓啤骞芪恢玫娜范ā■目录⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。。⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯...............................⋯..............⋯............................⋯......‘
方向压阻系数的计算⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯本章小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.第三章基于工艺的传感器运算放大电路⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。.模拟调理技术⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯集成运算放大器⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯第四章基于工艺的传感器供电电路⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.压力传感器供电方式介绍⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。⋯带隙基准电压源⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.呔ǘ却痘嫉缪乖吹缏返氖迪帧高精度基准电流源⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯高精度基准电流源原理⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯...呔ǘ然嫉缌髟吹氖迪帧仿真结果⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..嫉缪乖醇盎嫉缌髟吹姆抡娼峁基准电流镜像电路的改进⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。.⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.运算放大器的结构确定⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯电路的工作原理⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.■.
具体元器件及电路的版图设计⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。?榘嫱技罢灏嫱忌杓啤本章小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.独创性声明⋯⋯。⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯:⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。明本章小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.第五章版图设计⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯版图设计简介⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯...罘质淙攵缘陌嫱忌杓啤第六章结论参考文献致谢..........。。。..⋯..................................⋯⋯。.............⋯⋯⋯..⋯⋯.......。...........