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《晶体拆清基础知识》.ppt

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《晶体拆清基础知识》.ppt

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一、拆炉
1、炉体充气
*
副真空泵气动阀关闭
主真空泵气动阀关闭
上氩气气动阀开启
氩气快充阀阀开启
氩气流量值
一、拆炉
*
2、取单晶
一、拆炉
*
一、拆炉
*
拆清炉着装要求
净化服
隔热手套
安全鞋
胸卡
口罩
3、取热场
一、拆炉
*
序号
名称
单位
数量
备注
1
拆炉车

3
2
吸尘装置

1
3
酒精

1
4
棕毛刷

1
5
砂纸

1
6
百洁布

2
7
纤维纸

30
8
电极螺丝扳手

1
9
高温隔热手套

2
10
线手套

2
11
一次性手套

1
12
一次性口罩

2
13
活口扳手

2
14
取单晶筒

1
15
斜口钳

1
拆炉工具
一、拆炉
*
热场部件摆放:
,按装配顺序摆放在拆炉车上。
,并且轻拿轻放。
取热场顺口溜:
环板碳碳环筒板,上保坩埚支撑板,
上盘托杆层筒板,盖螺加热反射板,
调节极筒不要反,压片中碳护套拣,
护盘碳碳底部板。
取热场流程:顶环→上保温板→上盖板(碳碳材料)→环→导流筒→下保温板→上保温筒→石墨坩埚→支撑板→托杆上盘→托杆→主保温筒外部保温层→主保温石墨保温筒→护板→电极螺栓护盖→电极螺栓→加热器→反射板→反射板调节螺丝→电极→导气筒→下保温筒→护盘压片→碳碳中部部保温材料→大轴护套→电极石英护套和石墨护套→炉底护盘→碳碳底部保温材料
一、拆炉
*
一、拆炉
*
上盖板
一、拆炉
*
下保温板