文档介绍：反射式光电编码器
第21卷第12期
2013年12月()—924X(2013)12-3066—06
王显军
(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春130033)
关键词:高精度编码器;反射式编码器;光栅自成像;高密度基准光栅
文献标识码:Adoi:.3066中图分类号:;TN762
Reflectionphotoelectricencoder
WANGXian—jun
(ChangchunInstituteofOptics,FineMechanicsandPhysics,
ChineseAcademyofSciences,Changchun130033,China)
*CorrPspo行d砌gauthor,E-mail:wan.******@ciomp.
Abstract:-imagingprinciplewasintro—duced,theproductionprocessofahigh-densityre{,thehigh—,theencodercouldconfirmtheabsolutepositioneasylyandquick—ly。。.Theanglemeasur—
uracyoftheencoderwasmeasuredby
—”andthatfordoubleread—
”.,whichistimes
—precisionreflectiveopticalencoderdevelopedhassimple
.
referenceKeywords:highprecisionencoder;reflectionencoder;gratingself—imaging;high—density
grating
收稿日期:2013—07—05;修订Et期:2013-08—:中国科学院知识创新工程领域前沿项目资助
万方数据
第12期
引言
信号
。所以,高精度测角传感器以光电式编码器产品为主。随着技术的发展,光栅精度越来越高、刻线密度越来越大、反射式光电信号读取方式逐步趋于主流。
目前,光电编码器主要基于莫尔条纹原理…,采用透射方式获得光电信号,通过放大、整形后进行光电处理。该光电信号提取方式随着刻线宽度的减小要求动光栅和静光栅之间的距离成平方减小,(小于15/am)、轴系端跳、,刻线宽度低于10ffm时基本上无法获取光电信号。因此。要研制高精度适用于工程应用的光电编码器,必须采用新的光电信号提
图2光栅自成像原理示意图

光栅==
图1
干涉扫描原理示意图
scan
Theoryschematicdiagramofinterference
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