文档介绍：中科科仪分子泵产品介绍钱浩
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内容
中科科仪分子泵发展历程
分子泵原理、结构
分子泵应用及选型
分子泵使用及维护
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分子泵大全
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1977年:研制成功国内第一台立式F450涡轮分子泵,通过科学院鉴定。
1983年:F110涡轮分子泵通过中科院鉴定,首批应用于正负电子对撞机。
1986年:FF500复合型分子泵。
1993年:F1500涡轮分子泵,F150检漏仪用涡轮分子泵。
1999年: F3500涡轮分子泵。
2000年: FF620复合分子泵进入市场。
一、中科科仪分子泵的发展历程
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2001年:系列防腐蚀分子泵进入市场。
2002年: FF1200复合分子泵进入市场。
2003年:系列任意角度安装分子泵进入市场。
2004年:抗冲击(整体涡轮转子)分子泵。
2005年: FF700任意角度安装分子泵。
2006年: FD-II电源、FF1600分子泵、FF1300任意角度安装分子泵。
2007年:FF1800脂润滑分子泵,1800磁悬浮分子泵样机。
一、中科科仪分子泵的发展历程
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二、分子泵原理、结构
分子泵原理
分子泵是一种动量型真空获得设备,在分子流态下,气体分子与高速运动的表面发生碰撞获得一定方向的动量,从而使气体分子得到逐级压缩,最后被抽除。
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二、分子泵原理、结构
分子泵结构
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按抽气特性结构分类
涡轮分子泵
涡轮级动、静叶列
复合型分子泵
涡轮级+拖动级
按使用特点分类
风冷型:中小型分子泵
水冷型:中大型分子泵
防腐型:抽除腐蚀性气体
二、分子泵原理、结构
分子泵结构
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按制造结构分类
油润滑
脂润滑
磁悬浮
二、分子泵原理、结构
分子泵结构
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精密的转子制造
精密的动、静间隙配合
高精度的轴系加工
高精度轴承
精密的整机平衡
可靠的阻尼减振系统
高效的变频电机、冷却系统
二、分子泵原理、结构
分子泵结构
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