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文档介绍：随着技术的发展,制造工业的精度已经达到了亚微米级别,很多机械零件的精度早已超过亚微米而达到几十个纳米,如高精度定位轴承和光学透镜,电子电路在工业中,超大规模集成电路的制造精度已经达到几个纳米。
精密位移检测系统
制造精度的提高是现代工业的基础,而在亚微米级别的制造中,利用高精度微小位移检测。
高精度位移传感器的特点:量程小,精度高,高稳定性。
精密位移检测系统
精度在亚微米级别的检测工业上往往采用比较方法,即首先使用标准件作为检测基准依据,然后利用高精度微小位移检测其中的误差级别。
精密位移检测系统
通过熟悉各种高精度位移传感器,了解位移传感器检测的一般原理和使用条件,掌握各种位移传感器的量程和精度等检测性能。
任务一高精度位移传感器的应用
知识目标
通过实践操作和训练理解,初步认识电感式位移传感器及其检测适应性,了解工业中常用的位移检测特点及位移传感器的基本选用原则。
技能目标
任务一高精度位移传感器的应用
电容式传感器实质上是利用电容公式进行检测的传感器
被检测可通过极板距离、正对面积和介电常数的变化,转换为电容的变化实现检测。
一、电容式传感器
任务一高精度位移传感器的应用
任务一高精度位移传感器的应用

任务一高精度位移传感器的应用
1)
变面积型电容传感器
2)
极距变化型电容传感器
1)变面积型电容传感器
任务一高精度位移传感器的应用