文档介绍：参涟嘲~篱劳雾。爹。,。,≮巍≮瘩蟀絠嘉。甏爹缸&攀攀过渡金属掺杂制备工艺、结构及磁特性研究争、二爹∥丫,┠酰窠淮故摹!ⅰ#兰州理工大学硕士学位论文苤渔蝰理堂瞳王壹麴援邂霾查物理堕蹙塑堡至鞯诠窒筌避旦翅;:学号:密级:公开、
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砂压作者签名:红终家独洚鹾夕日兰州理工大学学位论文原创性声明和使用授权说明日期:山,/年‘月夕日日期:山,甓嘣孪θ原创性声明学位论文版权使用授权书石月人或集体已经发表或撰写的成果作品。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体,均已在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律后果由本人承有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版,允许论文被查阅和借阅。本人授权兰州理工大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索,可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编本学位论文。同时授权中国科学技术信息研究所将本学位论文收录到《中国学位论文本人郑重声明:所呈交的论文是本人在导师的指导下独立进行研究所取得的研究成果。除了文中特别加以标注引用的内容外,本论文不包含任何其他个担。本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定,即:学校全文数据库》,并通过网络向社会公众提供信息服务。作者签名:导师签名:日期:加,/年、
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要摘薄膜具有良好的化学稳定性、优异的光学性能和良好的电学性能,并且还具有光催化效能高、无二次污染等特点,因而在电子材料、光学材料以及太阳能电池方面有着广阔的应用前景。是宽禁带半导体材料,基于磁性半导体的研究将有利于发展集成光、电、磁于一体的器件的开发和研制,近年来逐渐成为人们关注的焦点。本文通过调节磁控溅射参数、金属掺杂制备了系列薄膜,并对样品的形貌、结构以及磁性等相关物性进行了研究。孜露缺3衷℃.娴炔煌露认鲁粱票噶讼盗蠺∧ぃ并对薄膜在空气中进行退火处理。实验结果表明,基底温度对薄膜的结晶状态、晶体结构有着很大影响。在基底温度分别为妗℃及媸保晶体结构表现为锐钛矿和金红石两相共存,在其它基底温度下则仅有锐钛矿相。甌∧こ粱讨斜3只孜露仍,对制备的薄膜在不同的氛围下进行退火处理。实验结果表明,在真空中进行退火的薄膜表现为非晶结构;在空气以及纯氧环境中退火的薄膜则表现为锐钛矿结构,且晶化程度良好;在氩气氛围中退火处理的薄膜为锐钛矿和金红石两相共存。孜露缺3衷谑椅拢诓煌难蹼脖认轮票噶薚∧ぃ⒃诳掌进行后退火处理。结果表明,制备过程中氧氩比较小的薄膜样品经空气退火后,结构为金红石相;氧氩比较大的薄膜样品经空气退火后,结构为锐钛矿相。孜露缺3衷,制备了不同金属掺杂量.、.薄膜。实验结果表明,随着、掺杂量的增加,薄膜样品逐渐由锐钛矿相向金红石相转变,而随着、的进一步掺杂,将会抑制薄膜的晶化。谑椅孪鲁粱票噶瞬煌珻粼恿康腡∧,磁化强度随浓度的增加先上升后下降,在掺杂量为%,最大的矫顽力则出现在掺杂量为サ慕鸷焓峁贡∧ぶ小关键词:磁控溅射;基底温度;.薄膜;稀磁半导体:铁磁性√
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