文档介绍：国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》是设计建造电子工业洁净厂房的重要依据
陈霖新
中国电子工程设计院
2009年10月
1
国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》GB50472与国家标准《洁净厂房设计规范》GB50073、《医药工业洁净厂房设计规范》GB50457均为强制性国家标准。
洁净技术是一门综合技术,是『生产工艺技术+空气净化+洁净建筑』+高纯物质
电子产品尤其是微电子产品生产依赖于洁净技术的发展,或者说洁净技术的发展是微电子产品的更新换代的需要和促进的结果。
2
电子工业洁净厂房的特点:
①严格的空气洁净度和各类杂质的控制要求;
②以微电子产品生产为代表的电子产品生产过程的连续性和自动化程度的不断提高、完善以及高精密制造设备的日益广泛应用;
③专业技术的严格控制要求,电子工业洁净厂房一般应具有下列功能设施:净化空调系统、专用净化设备,洁净建筑及装饰,噪声控制、防微振,防静电、防电磁干扰,电气、照明,高纯物质——高纯水、高纯气、高纯化学品供应,安全、报警系统,节能设施,通信设施……等;
④以微电子产品生产为代表的大面积、大空间、大体量的洁净厂房相继建成,并日渐增多。
3
现有国家标准《洁净厂房设计规范》GB50073中有关规定已不能满足需要,尤其是涉及化学分子污染物的控制,安全、消防等方面的规定,如洁净建筑防火与疏散、易燃易爆气体和化学品的贮存输送、安全消防报警设施等。

电子工业洁净厂房的特点和工程实践为依据,结合我国电子工业洁净厂房设计建造和运行的实际情况,广泛的调查研究、收集整理相关的专题报告、测试资料,认真总结多年来电子工业洁净厂房设计建造和运行方面的经验,广泛征求了国内有关单位的意见,集思广益进行制定。
4
《电子工业洁净厂房设计规范》共分15章和4个录。主要内容有:总则、术语、电子产品生产环境设计要求、总体设计、工艺设计、洁净室建筑设计、空气净化和空调通风设计、给水排水设计、纯水供应、气体供应、化学品供应、电气设计、防静电与接地设计、噪声控制、微振控制等。其中设有强制性条文近