文档介绍：一、电池片工艺流程:

制绒(INTEX)---扩散(DIFF)----后清洗(刻边/去 PSG)-----镀减反射膜(PECVD)
------丝网、烧结(PRINTER)-----测试、分选(TESTER+SORTER)------包装
(PACKING)
二、各工序工艺介绍:
(一)前清洗
前清洗工序的目的:
(1)
去除硅片表面的机械损伤层(来自硅棒切割的物理损伤)
(2)
清除表面油污(利用 HF)和金属杂质(利用 HCl)
(3)形成起伏不平的绒面,利用陷光原理,增加对太阳光的吸收,在某种程度
上增加了 PN 结面积,提高短路电流(Isc),最终提高电池光电转换效率。
2、前清洗工艺步骤:
制绒→碱洗→酸洗→吹干
Etch bath:刻蚀槽,用于制绒。所用溶液为 HF+HNO3 ,作用:
(1).去除硅片表面的机械损伤层;
(2).形成无规则绒面。
Alkaline Rinse:碱洗槽。所用溶液为 KOH,作用:
(1). 对形成的多孔硅表面进行清洗;
(2).中和前道刻蚀后残留在硅片表面的酸液。
Acidic Rinse:酸洗槽。所用溶液为 HCl+HF,作用:
(1).中和前道碱洗后残留在硅片表面的碱液;
(2).HF 可去除硅片表面氧化层(SiO2),形成疏水表面,便于吹干;
(3).HCl 中的 Cl-有携带金属离子的能力,可以用于去除硅片表面金属离子。
3. 酸制绒工艺涉及的反应方程式:
HNO3+Si=SiO2+NOx↑+H2O
SiO2+ 4HF=SiF4+2H2O
SiF4+2HF=H2[SiF6]
Si+2KOH+H2O →K2SiO3 +2H2
4. 前清洗工序工艺要求
(1) 片子表面 5S 控制
不容许用手摸片子的表片,要勤换手套,避免扩散后出现脏片。
(2)称重
,不允许编造数据,搞混批次等。
4 片。
,把握均衡原则。如第一批放在道,下一批则放在
道,便于检测设备稳定性以及溶液的均匀性。
(3)刻蚀槽液面的注意事项:
正常情况下液面均处于绿色,如果一旦在流片过程中颜色改变,立即通知工艺
人员。
(4)产线上没有充足的片源时,工艺要求:
1 小时以上,要将刻蚀槽的药液排到 tank,减少药液的挥发。
15 分钟以上要用水枪冲洗碱槽喷淋及风刀,以防酸碱形成的结晶盐堵塞
喷淋口及风刀。

1h 以上,要跑假片,至少一批(400 片)且要在生产前半小时用水枪冲
洗风刀处的滚轮,杜绝制绒后的片子有滚轮印。
(5)前清洗到扩散的产品时间:

最长不能超过 4 小时,时间过长硅片会污染氧化,到扩散污染炉管,从而影响后
面的电性能及效率
5. 前清洗工序常见工艺问题
常见故障原因及解决方法

a 观察来片是否有异常,或者来片一批中是否是不同晶棒组成,
因为
刻蚀深度
不同的片子会对应不同的刻蚀速率。b 查看溶液颜色,正常的颜
不稳定
色应该是灰色偏绿。如果觉得颜色过浅,
流假片,一般以 400 片为