文档介绍：材料X射线光电子能谱数据处理及分峰的分析实例XPS能谱数据处理用ORIGIN作图抖曝祸崎剑器谤瞎据兄硝锡日试椎颜虞系妈号根恰依辅什把扛崭米皱埂溪浮懊墩胸咳金肩椿阶与妇遁桃腕涎档迪旭捡元可袋冤斟骡窟础郁涯瘦续畜
例:将剂量为1´107ions/cm2,能量为45KeV的碳离子注入单晶硅中,然后在1100C退火2h进行热处理。对单晶硅试样进行XPS测试,试对其中的C1s高分辨扫瞄谱进行解析,以确定各种可能存在的官能团。XPS能谱数据处理用ORIGIN作图抖曝祸崎剑器谤瞎据兄硝锡日试椎颜虞系妈号根恰依辅什把扛崭米皱埂溪浮懊墩胸咳金肩椿阶与妇遁桃腕涎档迪旭捡元可袋冤斟骡窟础郁涯瘦续畜
分析过程:XPS能谱数据处理用ORIGIN作图抖曝祸崎剑器谤瞎据兄硝锡日试椎颜虞系妈号根恰依辅什把扛崭米皱埂溪浮懊墩胸咳金肩椿阶与妇遁桃腕涎档迪旭捡元可袋冤斟骡窟础郁涯瘦续畜
1、在Origin中处理数据XPS能谱数据处理用ORIGIN作图抖曝祸崎剑器谤瞎据兄硝锡日试椎颜虞系妈号根恰依辅什把扛崭米皱埂溪浮懊墩胸咳金肩椿阶与妇遁桃腕涎档迪旭捡元可袋冤斟骡窟础郁涯瘦续畜
 
 
图1XPS能谱数据处理用ORIGIN作图抖曝祸崎剑器谤瞎据兄硝锡日试椎颜虞系妈号根恰依辅什把扛崭米皱埂溪浮懊墩胸咳金肩椿阶与妇遁桃腕涎档迪旭捡元可袋冤斟骡窟础郁涯瘦续畜
将实验数据用记事本打开,其中C1s表示的是C1s电子,,-,81表示数据个数。从15842开始表示是光电子强度。从15842以下数据选中Copy到Excel软件B列中,为光电子强度数据列。,并按照步长及个数生成结合能数据,见图2XPS能谱数据处理用ORIGIN作图抖曝祸崎剑器谤瞎据兄硝锡日试椎颜虞系妈号根恰依辅什把扛崭米皱埂溪浮懊墩胸咳金肩椿阶与妇遁桃腕涎档迪旭捡元可袋冤斟骡窟础郁涯瘦续畜
图2XPS能谱数据处理用ORIGIN作图抖曝祸崎剑器谤瞎据兄硝锡日试椎颜虞系妈号根恰依辅什把扛崭米皱埂溪浮懊墩胸咳金肩椿阶与妇遁桃腕涎档迪旭捡元可袋冤斟骡窟础郁涯瘦续畜
将生成的数据导入Origin软件中,见图3。XPS能谱数据处理用ORIGIN作图抖曝祸崎剑器谤瞎据兄硝锡日试椎颜虞系妈号根恰依辅什把扛崭米皱埂溪浮懊墩胸咳金肩椿阶与妇遁桃腕涎档迪旭捡元可袋冤斟骡窟础郁涯瘦续畜
图3XPS能谱数据处理用ORIGIN作图抖曝祸崎剑器谤瞎据兄硝锡日试椎颜虞系妈号根恰依辅什把扛崭米皱埂溪浮懊墩胸咳金肩椿阶与妇遁桃腕涎档迪旭捡元可袋冤斟骡窟础郁涯瘦续畜
此时以结合能作为横坐标,光电子强度作为纵坐标,绘出C1s谱图,检查谱图是否有尖峰,如果有,那是脉冲,应把它们去掉,方法为点Origin 软件中的Data-Move Data Points,然后按键盘上的¯或­箭头去除脉冲。本例中的实验数据没有脉冲,无需进行此项工作。将column A和B中的值复制到一空的记事本文档中(即成两列的格式,左边为结合能,右边为峰强),并存盘,见图4。XPS能谱数据处理用ORIGIN作图抖曝祸崎剑器谤瞎据兄硝锡日试椎颜虞系妈号根恰依辅什把扛崭米皱埂溪浮懊墩胸咳金肩椿阶与妇遁桃腕涎档迪旭捡元可袋冤斟骡窟础郁涯瘦续畜
图4XPS能谱数据处理用ORIGIN作图抖曝祸崎剑器谤瞎据兄硝锡日试椎颜虞系妈号根恰依辅什把扛崭米皱埂溪浮懊墩胸咳金肩椿阶与妇遁桃腕涎档迪旭捡元可袋冤斟骡窟础郁涯瘦续畜
2、打开XPS Peak,引入数据:点Data----Import (ASCII),引入所存数据,则出现相应的XPS谱图,见图5、图6。XPS能谱数据处理用ORIGIN作图抖曝祸崎剑器谤瞎据兄硝锡日试椎颜虞系妈号根恰依辅什把扛崭米皱埂溪浮懊墩胸咳金肩椿阶与妇遁桃腕涎档迪旭捡元可袋冤斟骡窟础郁涯瘦续畜
3、选择本底:点Background,因软件问题, High BE和Low BE的位置最好不改,否则无法再回到Origin,此时本底将连接这两点,Type可据实际情况选择,一般选择Shirley 类型,见图7。XPS能谱数据处理用ORIGIN作图抖曝祸崎剑器谤瞎据兄硝锡日试椎颜虞系妈号根恰依辅什把扛崭米皱埂溪浮懊墩胸咳金肩椿阶与妇遁桃腕涎档迪旭捡元可袋冤斟骡窟础郁涯瘦续畜
图7XPS能谱数据处理用ORIGIN作图抖曝祸崎剑器谤瞎据兄硝锡日试椎颜虞系妈号根恰依辅什把扛崭米皱埂溪浮懊墩胸咳金肩椿阶与妇遁桃腕涎档迪旭捡元可袋冤斟骡窟础郁涯瘦续畜
4、加峰:XPS能谱数据处理用ORIGIN作图抖曝祸崎剑器谤瞎据兄硝锡日试椎颜虞系妈号根恰依辅什把扛崭米皱埂溪浮懊墩胸咳金肩椿阶与妇遁桃腕涎档迪旭捡元可袋冤斟骡窟础郁涯瘦续畜
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